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              發(fā)布時間:2020-12-29 12:30  






              氦質(zhì)譜檢漏儀的應用

              (1)電子行業(yè),微波發(fā)射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、心臟起博器。

              (2)真空行業(yè),儀器、儀表行業(yè),管道、接頭、閥門、波紋管、各種真空泵、各類排氣機組、電鏡、質(zhì)譜儀、電子束離子速暴光機、激光軸分離器、鍍膜機、薄膜真空計。

              (3)核工業(yè),鈾分離裝置、存儲裝置、核發(fā)電裝置。

              (4)制冷行業(yè),冰箱、空調(diào)、汽車用空調(diào)、蒸發(fā)器、冷凝器、壓縮機、低溫儲槽。

              (5)不銹鋼保溫器皿,真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。

              (6)核工業(yè)、航空工業(yè)、航天工業(yè)、船舶工業(yè)、軍事電子六大類。



              氦質(zhì)譜檢漏儀的原理

              正常運行時,空氣經(jīng)過漏點被吸入凝汽器后被真空泵抽出,排至大氣。試驗時在真空泵入口的空氣管上接一根軟管至氦質(zhì)譜檢漏儀,在真空系統(tǒng)的漏點處噴氦氣,由于氦質(zhì)譜檢漏儀工作時能形成比水環(huán)式真空泵更高的真空,因此,漏入真空泵入口管上氦氣與空氣的混合元體,有一部分被吸入到氦質(zhì)譜檢漏儀,由于氦分子質(zhì)量與其他分子質(zhì)量不一樣,通過磁場產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)磁力不一樣,氦質(zhì)譜檢漏儀上設計有一狹縫,剛好使氦分子通過而其他分子無法通過,這樣,通過狹縫后的氦分子打在收集板上,通過靶板計數(shù),即可知道通過的分子數(shù)泄漏量的相對大小。



              真空法氦質(zhì)譜檢漏

              采用真空法檢漏時,需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空,采用氦罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施氦氣,當被檢產(chǎn)品表面有漏孔時,氦氣就會通過漏孔進入被檢產(chǎn)品內(nèi)部,再進入氦質(zhì)譜檢漏儀,從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測量。按照施漏氣體方法的不同,又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣,可以實現(xiàn)漏孔的準確定位; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來,在罩內(nèi)充滿一定濃度的氦氣,可以實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。



              正壓法氦質(zhì)譜檢漏

              采用正壓法檢漏時,需對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室充入高于一個大氣壓力的氦氣,當被檢產(chǎn)品表面有漏孔時,氦氣就會通孔漏孔進入被檢外表面的周圍大氣環(huán)境中,再采用吸槍的方式檢測被檢產(chǎn)品周圍大氣環(huán)境中的氦氣濃度增量,從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏測量。按照收集氦氣方式的不同,又可以將正壓法分為正壓吸槍法和正壓累積法。




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