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發布時間:2020-07-19 07:41  





什么是流量控制器?
質量流量計,即Mass Flow Meter(縮寫為MFM), 是一種準確測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準,不需要溫度壓力補償。
質量流量控制器, 即Mass Flow Controller(縮寫為MFC), 不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩流裝置。3、熱式氣體質量流量計熱探頭向周圍的輻射換熱03熱探頭表面溫度為,它要向氣流和另一個探頭進行輻射換熱。
什么是流量控制器
質量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。質量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點:精度高,重復性好。氣體流經振動管時,存在壓降,使得振動管受力不對稱,這也對相位差有影響。
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流量控制器如何測混合氣體的流量?
質量流量計是采用感熱式測量百,通過分體分子帶走熱量多少從而來測量流量,因為是用感度熱式測量,所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果 。
即氣體流過加熱元件時將熱量帶走,帶走的熱量與氣體的流速問和氣體的密度成正比。為了保持兩個溫度傳感器的固定溫差需要電路對加熱答元件提供更多的功率,電路中輸出功率的大小與流體的質量有關,由此測量流專量。
此方法,日系發動機常用。
質量流量控制器主要參數
質量流量精度: ±0.002×流量±零點漂移
密度測量精度: ±0.003g/cm3
密度測量范圍: 0.5~1.5g/cm3
溫度測量范圍: ±1°C
傳感器相關數據:
環境溫度: -40~60°C
介質溫度: -50~200°C
防爆類型: iBⅡBT3
關聯設備: 配套變送器
(3) 變送器相關數據:
工作溫度: 0~60°C
相對濕度: 95%以下
電 源: 220±10%VAC,50Hz或24±5%VDC,40W
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