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              發布時間:2021-07-03 14:17  









              電子潔凈廠房工藝冷卻水和純水管材的選擇


              鋼襯塑管道、鋼涂塑管道,無論是絲扣連接、卡環連接、溝槽連接還是法蘭連接均不能保證外層金屬與水的完全隔離。

              2    純水管道的選擇

                 電子超純水通常為電阻率>15 MΩ·cm(25℃)的純水,而此時電阻率已經不是重要的因素,需根據其他指標的要求進行具體分析。

              (1)管材性能比較

                 選擇管材的依據主要是管道的溶出物(見表1)及內表面光潔度。主要應用的管道有Clean-PVC管、潔凈PP管、PVDF管幾種。Clean-PVC管采用耐沖擊硬質聚制造,其比普通PVC管含有較少的添加劑。







               對于大多數化學品和溶劑都具有很好的耐腐蝕性、抗紫外線和性能好、耐候性好、耐生物菌類的作用、氣體和液體阻隔性好、阻燃性好、發煙量少等優點。聚偏二氟乙烯是一種純凈的材料,它不含任何添加劑,且其表面光滑,粗糙度小于0.2μm。制造商主要有喬治·費歇爾管路系統有限公司( GF )、奧地利AGRU公司。PVDF管材質為聚偏二氟乙烯,是一種高結晶度,熱塑性塑料,可用溫度/壓力范圍廣。2、無塵凈化工程在施工安裝過程中,各專業交叉配合作業量大,工序之間相互銜接要求高,因此,在施工時,必須制訂出詳盡的施工協作計劃,嚴格按照施工程序施工,保證環境潔凈、衛生。其主要特性是力學強度高、韌性好、具有優異的耐磨性、熱穩定性和介電性,其純度高





              以某電子廠為例,一期廠房純水系統未設置專門的除TOC紫外線燈,僅依靠制備過程中對TOC的去除,在運行了若干年后,其回水管道TOC可以達到15ppm,而二期新建的純水系統,設置了的除TOC紫外線燈,在系統開始運行階段的站房出口TOC,也只有50 ppm。正是由于這種特性,所以純水系統在投產前需經過相當長時間的沖洗運行。以上各級別空氣懸浮粒子的標準與ISO14644-1中潔凈度等級(以≥0。







              (1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回系統回,塵埃隨向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。

                (2)垂直層流式:房間天花板完全以過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。

                3.復合式:

                復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。

                (1)潔凈隧道:以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質,ULSI制程大都采用此種型式。2、涂料地面:具有水磨石優點,較耐磨而不耐拖拽,基底處理要求高,易卷邊剝落,常用于藥廠的潔凈區。


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