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發布時間:2021-09-08 22:44  





真空腔體的優勢及特性
——按照客戶要求,加工訂制;
——專業出圖設計;
——可配套固定真空機組系統;
——耐高溫、耐腐蝕;
——高質量、高精度;
加工工藝,完全采用真空焊接技術拼裝焊接;
先進的真空撿漏設備,更加保證產品的優越性;
超高真空主要應用在離子鍍膜、高真空半導體設備、實驗室設備等對環境要求極高的真空領域。
真空腔體概述
真空設備包含很多組件,如真空腔體,真空密封傳導件,視口設置,真空傳感器,真空顯示表,沉積系統,蒸發源和蒸發材料,濺鍍靶材,等離子刻蝕設備,離子注入設備,真空爐,真空泵,法蘭,閥門和管件等。真空設備常用于脫氣,焊接,制備薄膜涂層,生產半導體/晶圓、光學器件以及特殊材料等。
基板指的是一個大的法蘭適配器,可以把一個位置低的腔體或者鐘形罩連接到真空泵?;逋ǔS幸粋€位于中心位置的端口或者法蘭連接裝置,可連接到真空抽氣系統。
脫氣箱或者脫氣室通常是腔體結構,一般帶有鉸鏈接口,可連接不需要高真空環境的其他裝置,如塑料樣品、血液、粘合劑、化學制品或其他液體的除氣設備。
輔助井用于連接抽氣系統和鐘形罩。
基地井整合了基板和真空密封頸,用焊接接頭取代一個真空密封件,可以同時實現基板和密封設備兩個部件的功能。
真空腔體的焊接原則
超高真空腔體的弧焊接,原則上必須采用內焊,即焊接面是在真空一側,以免存在死角而發生虛漏。
真空腔體的內壁表面吸附大量的氣體分子或其他有機物,成為影響真空度的放氣源。為實現超高真空,要對腔體進行150——250℃的高溫烘烤,以促使材料表面和內部的氣體盡快放出。烘烤方式有在腔體外壁纏繞加熱帶、在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳篷中。比較經濟簡單的烘烤方法是使用加熱帶,加熱帶的外面再用鋁箔包裹,防止熱量散失的同時也可使腔體均勻受熱。