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發布時間:2020-08-06 16:14  





有機無機蒸發鍍膜儀
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有機無機蒸發鍍膜儀采用直線式結構,主要由二個有機材料生長室組成,兩個有機材料生長室之間通過閘板閥聯接,其中一個生長室系統預留與手套箱對接接口,能夠完成二套獨立的制備薄膜系統之間互相傳送基片。蒸發技術分為間歇蒸發與連續蒸發、直接電阻加熱蒸發和間接電阻加熱蒸發,連續生產與制造厚膜時采用連續蒸發加熱。有機無機蒸發鍍膜儀的有機材料生長室主要由真空室腔體組件、有機蒸發源、熱阻蒸發舟、樣品傳遞裝置、樣品臺、膜厚監測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置等組成。