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發布時間:2020-11-07 11:01  










磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過程。入射粒子在靶中經歷復雜的散射過程,和靶原子碰撞,把部分動量傳給靶原子,此靶原子又和其他靶原子碰撞,形成級聯過程。在這種級聯過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運動的足夠動量,離開靶被濺射出來。
種類
磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應用對象。但有一共同點:利用磁場與電子交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運行,從而增大電子撞擊氬氣產生離子的概率。所產生的離子在電場作用下撞向靶面從而濺射出靶材。
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靶源分平衡和非平衡式,平衡式靶源鍍膜均勻,非平衡式靶源鍍膜膜層和基體結合力強。平衡靶源多用于半導體光學膜,非平衡多用于磨損裝飾膜。磁控陰極按照磁場位形分布不同,大致可分為平衡態和非平衡磁控陰極。平衡態磁控陰極內外磁鋼的磁通量大致相等,兩極磁力線閉合于靶面,很好地將電子/等離子體約束在靶面附近,增加碰撞幾率,提高了離化效率,因而在較低的工作氣壓和電壓下就能起輝并維持輝光放電,靶材利用率相對較高,但由于電子沿磁力線運動主要閉合于靶面,基片區域所受離子轟擊較小.非平衡磁控濺射技術概念,即讓磁控陰極外磁極磁通大于內磁極,兩極磁力線在靶面不完全閉合,部分磁力線可沿靶的邊緣延伸到基片區域,從而部分電子可以沿著磁力線擴展到基片,增加基片區域的等離子體密度和氣體電離率.不管平衡非平衡,若磁鐵靜止,其磁場特性決定一般靶材利用率小于30%。為增大靶材利用率,可采用旋轉磁場。但旋轉磁場需要旋轉機構,同時濺射速率要減小。旋轉磁場多用于大型或貴重靶。如半導體膜濺射。對于小型設備和一般工業設備,多用磁場靜止靶源。


平衡軸技術(上圖中白色線框內所示結構)是一項結構簡單并且非常實用發動機技術,它可以有效減緩整車振動,提高駕駛的舒適性。也許有的消費者會問,為什么要在部分引擎里設計這個結構?要搞明白這一問題首先我們需要弄清一件事--“發動機振動原理”。
當發動機處在工作狀態時,活塞的運動速度非常快,而且速度很不均勻。當活塞位于上下止點位置時,其速度為零,但在上下止點中間位置的速度則達到。由于活塞在氣缸內做反復的高速直線運動,因此必然會在活塞、活塞銷和連桿上產生較大的慣性力。雖然連桿上的配重可以有效地平衡這些慣性力,但卻只有一部分運動質量參與直線運動,另一部分參與了旋轉。因而除了上下止點位置外,其它慣性力并不能完全達到平衡狀態,此時的發動機便產生了振動。
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在接合過程中,逐漸松開離合器踏板,壓盤在壓緊彈簧的作用下向前移動,首先消除分離間隙,并在壓盤、從動盤和飛輪工作表面上作用足夠的壓緊力;之后分離軸承在復位彈簧的作用下向后移動,產生自由間隙,離合器接合。
離合器的調整:
離合器在使用過程中,從動盤會因磨損而變薄,使自由間隙變小,最終會影響離合器的正常接合,所以離合器使用過一段時間后需要調整。離合器調整的目的是保證合適的自由間隙,離合器調整的部位和方法依具體車型而定。
壓盤是離合器的主動部件,始終隨飛輪旋轉,通常可以通過凸臺、鍵或銷傳動,使其與飛輪一同旋轉,同時壓盤又可以相對飛輪向后移動,使離合器分離。從動盤主要由從動盤本體、摩擦片和從動盤轂組成。
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