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              發(fā)布時(shí)間:2020-10-20 10:00  









              1) 配備主動(dòng)掃描測(cè)頭和VAST navigator者掃描技術(shù),適用于ZEISS ACCURA機(jī)器。

              2) 驗(yàn)收測(cè)試時(shí)探針長(zhǎng)度60 mm,探針直徑 8 mm,并適用于其它探針 (ф3 x 33 mm、ф5 x 50 mm、ф8 x 114 mm 和 ф12 x 92 mm已經(jīng)過測(cè)試)。

              3) 測(cè)量長(zhǎng)度L 單位為mm。

              4) 符合的條件。

              5) 適用于12/18/8、12/18/10、12/24/8 及 12/24/10。

              6) 僅適用于ZEISS VAST XTR gold。

              7) 圓度測(cè)量中掃描速度為5mm/s,濾波為50 UPR。




              ZEISS DotScan

              測(cè)量范圍 1 mm 2)

              配備共聚焦白光測(cè)距傳感器,適用于ZEISS RDS-DCAA

              掃描測(cè)量速率高達(dá)1000點(diǎn)/秒。

              工作距離:10,5mm ,分辨率28nm

              可測(cè)量平面與光束夾角范圍90°± 30°1) 光斑直徑 8 μm

              測(cè)量范圍 3 mm 2)

              工作距離:21,5mm ,分辨率36nm,

              可測(cè)量平面與光束夾角范圍90°± 24° 1) 光斑直徑 9 μm





              1) 適用于ZEISS VAST XT gold。 當(dāng)使用其它測(cè)頭系統(tǒng)如ZEISS VAST gold 和ZEISS RDS時(shí),測(cè)量范圍 (G106) 與工件高度 (B18) 將減少,如圖。

              2) 自ZEISS VAST XT gold測(cè)頭的底部起,如圖所示。

              3) 配備工件重量提升選項(xiàng)的CMM。 不適用于與氣浮減振共同使用。

              4) 維護(hù)裝置花崗巖平臺(tái)長(zhǎng)度約為 130 mm。

              5) 運(yùn)輸高度:從花崗巖臺(tái)面底端到機(jī)器安全組件。

              6) HTG/防塵外罩選項(xiàng) 長(zhǎng)度增加500 mm,具體以實(shí)際為準(zhǔn)。

              7) 適用于所有配備氣浮減振選項(xiàng)的CMM









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