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氦質譜檢漏儀的應用拓展

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例如火箭發動機及姿態發動機，過去是打壓刷肥皂水檢漏，現在重新改進工藝用氦質譜檢漏儀檢漏，采用正壓吸槍與氦罩法結合，使檢漏靈敏度大大提高，從而保證了發動機質量?；鸺w的檢漏采用正壓吸槍、氦罩法、累集法等幾種方法的結合。由于檢漏技術的應用，提高了檢漏靈敏度，彌補了吸入法檢漏時儀器靈敏度低的不足。

氦質譜檢漏儀

待機時電離室真空度保持在≤3x10-2Pa，燈絲不易被氧化脆斷。在檢漏過程中，當出現意外情況，系統突然暴露大氣或真空度突然降低，導致大量的氣體突然進入電離室，真空度≥1x10-1Pa時，燈絲電流急劇增大，燈絲被碳化，就發生了脆斷現象。

氦質譜檢漏儀燈絲壽命如何延長？有前面分析已知，造成氦質譜檢漏儀燈絲脆斷的原因：1.真空度低；2.燈絲電流過大；3.對燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環境下長時間開啟，或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長氦質譜檢漏儀的燈絲壽命。如：1.使用中盡量將預置真空開關空擋；2.避免電離室泄入有害氣體（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。

質譜法基本原理

質譜,又稱質譜法（mass spectrometry,MS），是通過不同的離子化方式，將試樣（原子或分子）轉化為運動的氣態離子，并按照質荷比（m/z）大小進行分離檢測的分析方法，是一種與光譜并列的譜學方法。根據質譜圖上峰的位置和相對強度大小，質譜可對無機物、有機物和生物大分子進行定性和定量分析。Thomson JJ于1906年發明質譜，并運用于發現非性同位素和無機元素分析。20世紀40年代以后開始用于有機物分析。Thomson JJ于1906年發明質譜，并運用于發現非性同位素和無機元素分析。20世紀40年代以后開始用于有機物分析。80年代初期，快原子轟擊電離的應用，是質譜更好的運用于生物化學大分子。90年代以來，隨著電噴霧電離和基質輔助激光解吸電離的應用，已形成生物質譜學一新學科[1]。目前，質譜法已經日益廣泛的應用于原子能、化學、電子、冶金、、食品、陶瓷等工業生產部門，農業科學研究部門，以及物理、電子與離子物理、同位素地質學、有機化學等科學技術領域[2]。

質譜法的基本原理是試樣分子或原子在離子源中發生電離，生成各種類型帶電粒子或離子，經加速電場的作用獲得動能形成離子束；進入質量分析儀，在其中再利用帶電粒子在電場或磁場中運動軌跡的差異，將不同質荷比的離子按空間位置或時間的不同而分離開；然后到達離子將離子流轉變為電信號，得到質譜圖。

質譜儀基本結構，化合物的質譜是由質譜儀測得的。質譜儀是使分析試樣離子化并按質荷比大小進行分離、檢測和記錄的儀器。一般質譜儀由進樣系統，離子源，質量分析儀，離子及信號放大記錄系統組成

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真空法氦質譜檢漏原理

真空法氦質譜檢漏原理：

采用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產品外表面施氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入被檢產品內部，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品泄漏量測量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產品外表面噴吹氦氣，可以實現漏孔的定位； 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，在罩內充滿一定濃度的氦氣，可以實現被檢產品總漏率的測量。

真空法檢漏有何優點：真空法的優點是檢測靈敏度高，可以定位漏孔，能實現大容器或復雜結構產品的檢漏。

真空法檢漏缺點：真空法的缺點是只能實現一個大氣壓差的漏率檢測，不能真實反映帶壓被檢產品的真實泄漏狀態。

用途：真空法的檢測主要應用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產品，如空間活動部件、液氫槽車、環境模擬設備等。