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發布時間:2020-10-04 22:14  





光刻膠趨勢
半導體光刻膠領域全球市場規模趨于穩定, 2017年全球市場約13.5億美元;國內市場約20.2億元,近5年復合增速達12%。受全球半導體市場復蘇和國內承接產業轉移,預計全球光刻膠市場將保持穩定增速,國內市占率穩步抬升。
光刻膠生產、檢測、評價的設備價格昂貴,需要一定前期資本投入;光刻膠企業通常運營成本較高,下游廠商認證采購時間較長,為在設備、研發和技術服務上取得競爭優勢,需要足夠的中后期資金支持。企業持續發展也需投入較大的資金,光刻膠行業在資金上存在較高的壁壘,國外光刻膠廠商相對于國內廠商,其公司規模更大,具有資金和技術優勢。“10次方的光刻膠經過多次烘烤,由于達不到客戶需求的防靜電作用,不能應用到新一代窄邊框等面板上。
總體上,光刻膠行業得到國家層面上的政策支持。《國家集成電路產業發展推進綱要》,提出“研發光刻機、刻蝕機、離子注入機等關鍵設備,開發光刻膠、大尺英寸硅片等關鍵材料”;不同曝光波長的光刻膠,其適用的光刻極限分辨率不同,通常來說,在使用工藝方法一致的情況下,波長越小,加工分辨率越佳。國家重點支持的高新技術領域(2015)中提到“高分辨率光刻膠及配套化學品作為精細化學品重要組成部分,是重點發展的新材料技術”;光刻技術(包括光刻膠)是《中國制造 2025》重點領域。
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四、對準(Alignment)
光刻對準技術是曝光前一個重要步驟作為光刻的三大核心技術之一,一般要求對準精度為細線寬尺寸的 1/7---1/10。隨著光刻分辨力的提高 ,對準精度要求也越來越高 ,例如針對 45am線寬尺寸 ,對準精度要求在5am 左右。
受光刻分辨力提高的推動 ,對準技術也經歷 迅速而多樣的發展 。從對準原理上及標記結 構分類 ,對準技術從早期的投影光刻中的幾何成像對準方式 ,包括視頻圖像對準、雙目顯微鏡對準等,一直到后來的波帶片對準方式 、干涉強度對準 、激光外差干涉以及莫爾條紋對準方式 。在光刻膠的生產上,我國主要生產PCB光刻膠,LCD光刻膠和半導體光刻膠生產規模較小,2015年據統計我國光刻膠產量為9。從對準信號上分 ,主要包括標記的顯微圖像對準 、基于光強信息的對準和基于相位信息對準。
NR77-25000PNR9 8000光刻膠廠家