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發布時間:2020-11-04 11:33  





凈化車間煙控原理及設計方式
近幾年來,在我國的新竹科學工業園區內陸續發生了多次半導體廠房火災事故,雖然所造成的人員傷亡不大,但對于財物的損失卻很可觀,其數目動輒以數十億乃至百億元新臺幣計算,對業界所造成的損傷與危害可想而知。高溫濃煙才是造成財損的元兇,但由于土地取得不易,凈化車間廠房多向高樓層發展,高智慧的技術人力及昂貴的設備機臺集中在廠房內,萬一發生火災意外,損失將數十倍于一般工廠。此外,高科技凈化車間廠房內使用許多的性與性氣體,例如SiH4、H2、PH3 等,更增加廠房內的潛在危險,若無適當的對策與措施,因此,為了降低火災發生時人員的傷亡與財物的損失,必須對建筑物進行煙流控制,這一點新加坡已強制規定執行,而在鄰近的日本、大陸或香港也有類似煙流控制法規,其目的都是在降低火災發生時,高溫煙流對員工及設備污染的傷害。