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發布時間:2021-03-25 18:59  





氦質譜檢漏儀
氦質譜檢漏儀(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)為氣體工業名詞術語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到僅對氦氣反應的工作狀態)的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質譜檢漏儀的主要及時指標科儀創新是專業生產氦質譜檢漏儀的廠家,專業用于電廠檢漏。
北京科儀創新真空技術有限公司專業生產氦質譜檢漏儀,如您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢!
氦質譜檢漏儀的基本原理與結構
隨著科技的迅猛發展,氦質譜檢儀及其應用技術也在不斷發展和究善。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質譜檢涮儀,廣泛應用丁航空航天,電力電子,汽車等各個行業,綜觀較新氦質譜檢漏儀的性能特點發現,氦質譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發展,這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求,也極大的推動了氮質譜檢漏技術的不斷發展。氦質譜檢漏儀的基本原理與結構氦質譜檢漏儀一般由質譜管,真空系統和電子系統組成。一般采用檢漏盒或氦罩法,即把被檢件抽真空,然后向罩內充入氦氣,等待一定時間,確定總漏率的大小。其中質譜管包括離子源,質量分析器和離子檢測器; 真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質分析器,
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。
離子檢測器的作用是手機質量分析器所選定的氦離子流并加以放大,再通過比對運算,得出泄漏率
真空系統的作用是獲取質譜過程所需的真空,同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統的不同結構,檢漏儀分為常規系統和逆擴散兩種。校準環境溫度為(23±5)℃,校準過程中室溫變化不超過±1℃,環境相對濕度不大于80%。常規系統多用于早期的氦質譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通,由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到,因而具有較高的靈敏度,但是會對質譜管有污染。逆擴散系統檢漏儀與常規系統相比,被檢件只與低真空相通,因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏,氦氣是逆擴散到質譜管,不會對系統有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主流的產品。
機械泵的工作方式不一樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀,油泵工作會有油霧排出,污染工作環境,干泵沒有油霧排出對工作環境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。
氦質譜檢測儀的標準器選擇
北京科儀創新真空技術有限公司專業生產氦質譜檢漏儀,今天科儀創新的小編就大家來分享一下氦質譜檢漏儀的標準器的選擇,希望對大家有所幫助!
標準器 采 用 滲 氦 型 標 準 漏 孔,漏 率 標 稱 值 在( 10 - 6 ~ 10 - 10 ) Pa·m3 /s,不確定度不大于 10% 。
精密玻璃溫度計,測量范圍(0 ~ 50) ℃ ,不確定度 U = 0. 04℃ ,k = 2。
氦質譜檢漏儀的特點
北京科儀創新真空技術有限公司(簡稱:科儀創新)出資成立,創建于2015年,注冊資金500萬。是國內新興的一家專業從事真空領域的高新技術企業。
1.檢測時間和周期非常短,可以達到5s以內;
2.檢測的介質比較常用,僅需壓縮空氣即可;
3.不會受到主觀因素判斷的影響;
4.檢測的數據精準;
5.自動生成數據保存,可追溯數據來源。
今天和大家分享的是真空箱氦檢漏系統特征及優點,如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢!