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直接吸附法：有機廢氣經活性炭吸附，可達95%以上的凈化率，設備簡單、投資小，但活性炭更換頻繁，增加了裝卸、運輸、更換等工作程序，導致運行費用增加。在有機廢氣處理時普遍采用的是有機廢氣活性炭吸附處理法、催化燃燒法、催化氧化法、酸堿中和法、等離子法等多種原理。采用的吸附型活性炭在工業方面的應用主要涉及為尾氣吸附和有害氣體吸附，大多采用的為柱狀活性炭，其中木質柱狀活性炭吸附效果較好，被廣泛采用，逐漸取代了舊有的煤質活性炭吸附的方式。

吸收法：一般采用物理吸收，即將廢氣引入吸收液進凈化，待吸收液飽和后經加熱、解析、冷凝回收；本法適用于大氣量、低溫度、低濃度的廢氣處理。在用多孔性固體物質處理流體混合物時，流體中的某一組分或某些組分可被吸表面并濃集其上，此現象稱為吸附。吸附處理廢氣時，吸附的對象是氣態污染物，氣固吸附。催化燃燒法：把廢氣加熱經催化燃燒轉化成無害無臭的二氧化碳和水；本法起燃溫度低、節能、凈化率高、操作方便、占地面積少、投資較大，適用于高溫或高濃度的有機廢氣。

在有機廢氣處理時普遍采用的是有機廢氣活性炭吸附處理法、催化燃燒法、催化氧化法、酸堿中和法、等離子法等多種原理。廢氣處理設備惰性氣體雖然沒有危險性，但大量惰性氣體集聚，會使周圍氧含量減少，從而使人窒息。在室外適當的地方排放。通過活性炭吸附廢氣，當吸附飽和后，活性炭脫附再生，將廢氣吹脫后催化燃燒，轉化為無害物質，再生后的活性炭繼續使用。當活性炭再生到一定次數后，吸附容量明顯下降，則需要再生或更新活性炭。