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什么是流量控制器

質量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。質量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。質量流量控制器抗干擾能力強，測量精度高、量程比大、工作穩定可靠、對安裝要求低、對流體狀態要求低，壓力損失小等優點，且易清洗、具備自排空功能。冶金，制藥等。特點：精度高，重復性好。

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流量控制器

越來越多的朋友對氣體質量流量計﹑質量流量控制器產生了濃厚的興趣。

質量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。若在其進口端裝一塊或二快多孔板式流動調整器（整流器）后，則其長度可大為縮短。

氣體質量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標準升）來表示。流量控制器的穩定控制時間由于到達設定值后控制器可能會發生超調，所以通常制造商用到達設定值且穩定后所需要的時間作為設備響應速度，并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態下的流量。標準狀態規定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

選擇產品和訂貨時應當注意

注意選擇合適的響應時間指標

有的應用系統對MFC的響應時間有較高的要求，用戶應根據自己的情況加以考慮。在考慮響應時間指標的同時，還應注意其響應過程及動態特性。

注意對安裝位置有無要求

有的廠家的產品要求必須水平位置安裝。

注意使用氣體和適用范圍

MFM/MFC 對使用的環境及介質溫度﹑氣源壓力﹑介質（特別是使用對腐蝕性氣體）情況等均有一定適用范圍，請注意閱讀說明書或向廠家咨詢。

注意接頭形式

通常有雙卡套(Swagelok)和VCR兩種接頭可以選擇, VCR接頭性能更好適合于應用。

訂貨應注明：

產品名稱、型號、流量規格、標定氣體、使用氣體（特別是腐蝕性氣體）、接頭形式和數量。