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往復真空泵維修在信息薄膜加工中的應用

未來的家電中將主要為新的四大件:具有多媒體的彩電、計算機和音響組合體的多功能信息系統;具有真空冷凍和真空保鮮功能的電冰箱;具有真空脫水功能的洗衣機以及具有監控室內空氣新鮮程度的空調器。這些家用電器中,有的直接應用真空技術,有的間接利用真空技術得到的加工成果。

因為不論是計算機,還是各種自動化電器,它們的基礎是微電子器件。其中重要的是在規模集成電路。現今提起微電子器件幾乎是家喻戶曉,老幼皆知,因為它在現今人類社會的生產和生活中的作用是任何其它工業產品不能與之相比的。

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往復真空泵維修方法制備有機功能薄膜的技術

莫爾定律講的是硅片上的元件密度,這是描述大規模集成電路進行信息加工能力的參量,按照IBM公司1994年發表的特殊報告講到的關于奇妙的芯片:元件的尺寸越小,芯片的功能越大。

信息存儲密度106bit／cm2，可存下一篇30頁;108bit／cm2,能存300頁的書10本;1010bit／cm2,存1000本書;1012bit／cm2,存10萬本書,對于一塊3.5＂磁盤可存入500萬本書是可能的。這幾乎是我國目前省級圖書館的全部藏書。由這個估算可見存儲密度的提高,其芯片的功能是極其驚人的。這只是量變的推算,應該考慮到量變到質變產生的功能飛躍。

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1012bit／cm2稱為超高密度信息存儲,主要是數字0和1的存儲,安是納米電子學的基礎。每個信息存儲點的尺寸小于10nm,它含有的原子數有限。作為功能點與傳統的元件相比,它的特征是體積更小（<109個原子）、材料更純（雜質缺陷<10-8）、信號功率更低（<10-12焦耳）、信號的寫入讀出的響應速度快（<納秒）。因此，超高密度信息存儲的研究要求發展新理論、新材料和新的組裝加工技術。

往復真空泵維修在信息薄膜加工中的應用

近些年北京大學和科學院北京真空物理實驗室重點研究有機復合薄膜的超高密度信息存儲器件，其制備的關鍵技術是納米厚度的高質量功能薄膜。當今的薄膜形成過程中能夠保持真空純潔環境，故可以得到高質量的薄膜。物理氣相沉積（PVD）技術主要有蒸發、濺射鍍、離子鍍、分束外延和離子團束鍍等。

在分析了真空方法制備有機功能薄膜的幾種技術后，經比較認為，離子團束（ICB）沉積技術用于制備有機功能薄膜是適用的。它是將材料蒸發經過絕熱膨脹過程，電離過程形成荷電原子團，經歷加速被沉積到基底上。原子在基底表面具有較大的遷移率，這有利于薄膜的成核和晶粒生長，形成高質量的薄膜，通過控制絕熱過程，電離電壓，加速電壓和基底溫度可以制成晶體、多晶或無定形薄膜。

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