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發布時間:2020-11-09 13:25  
1、無塵室廠區總圖布局應考慮產品工藝特點和防止交叉污染,按生產、行政、生活和輔助區等合理布局,不得互相防礙。
2、無塵室廠區功能設施一定要配套,必須有保證產品生產所需的生產、倉庫、科研、辦公及水、電、汽、氣公用工程等主要功能廠房設施以外,還應配備三廢處理池、廢渣料與垃圾臨時堆放場地、停車庫、機修、飯堂等輔助設施.輔助設施必須因地制宜,按實際需要配套,缺一都會影響廠區環境衛生,影響生產正常進行。(2)室內氣流流型及分布:單向流要求均勻、平等的流線,但會受到工藝設備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流。
3、設置有無塵室的廠房與廠外周圍環境的相對位置及與廠內其它廠房設施之間的相對位置,適用于遠離產生粉塵、煙霧、有毒氣體的污染源,在污染源上風側,并有一定防護距離的原則。
蘇州卓宇泰公司是一家主營設備搬遷、精準定位、無塵車間、設備安裝,設備包裝,大型廠房搬遷等業務。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。
除了人員進出潔凈室須予以規范管理外,原材料及設備進出也必須經過潔凈程序,方不至于影響潔凈室潔凈度。其進潔凈室流程如表8-4所示。缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。至于搬出則反向而行,但不須經洗滌程序。原材料及設備進出用潔凈室為潔凈室等級1000或10,000級房間,工作人員于其室內清潔設備或原材料時必須穿著清潔衣服,所使用擦拭紙為無塵紙或不會脫落纖毛無塵布,清潔劑除了使用超純水之外,并加入3~5%濃度的IPA或化學品,以增強去污能力,由于IPA具揮發性故此房間排氣效果須特別考慮。搬遷設備時為免破壞地板支架及地板表面,必須事先于地板上鋪設已清潔過的不銹鋼板,作為輔助。