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發布時間:2020-11-11 09:40  






雷尼紹激光干涉儀
雷尼紹設計、制造和提供激光系統已有近二十年的歷史。XL-80正是多年設計和制造經驗的結晶,具有真正優良的系統性能和操作優點。
RENISHAW激光干涉儀
雷尼紹公司的激光干涉儀和球桿儀測量系統用于評估、監控并提高機床、坐標測量機 (CMM) 及其他位置精度要求關鍵的運動系統的靜態和動態性能。激光干涉儀采用安裝在外部的光學鏡組件實現高精度、可重復、可溯源的測量。目前有兩款雷尼紹激光干涉儀系統在全球廣泛使用,一款是XL-80(自2007年開始生產),另一款是被其替代的ML10(1988年至2007年)。
激光干涉儀介紹
激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
(1)數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償 現在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統用自準直儀和多面體的方法不僅節約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉軸精度曲線,知曉其精度的每一細節,并給出按相關標準處理的統計結果。
(2)雙軸定位精度的檢測及其自動補償 雷尼紹雙激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床,由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進行補償。