愛德華進口分子泵維修店常用指南

  廣州潽拓光電科技有限公司主要從事機電自動化，光電存儲媒體，半導體，太陽能電池板等真空鍍膜設備維修，銷售，設計，開發及系統工程，軟件開發，承接等，是leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian)等一線品牌分子泵專業維修廠商。因此，它已在國民經濟的很多部門，例如電真空、電子、輕化工、鋼鐵、有色冶煉等工業部門中發揮著越來越大的作用。

Edwards EXT406PX 復合渦輪分子泵

性能特點

真空系統簡單

* 可以選用較小的前級泵。

* 降低真空系統體積與功耗。

* 前級壓力在8mbar就可啟動，入口負載可達2E-3 。

* 前級壓力為17mbar時，還可維持正常轉速。

* 也可使用用戶自己的24V DC電源。

技術數據

入口法蘭 DN100ISO-K、DN100CF、DN160ISO-K、DN160CF

壓縮比

N2 >1 x 10E11

He 1 x 10E6

H2 5 x 10E4

出口法蘭（前級泵口） DN25NW

前級泵（推薦） XDS10或RV12（或其它更小的，依應用而定）

放氣口 1/8 inch BSP

吹掃凈化口 1/8 inch BSP

   廣州潽拓光電科技有限公司主要從事機電自動化，光電存儲媒體，半導體，太陽能電池板等真空鍍膜設備維修，銷售，設計，開發及系統工程，軟件開發，承接等，是leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian)等一線品牌分子泵專業維修廠商。（4）旋片式真空泵的返油設計為了避免真空泵的返油，旋片泵在進氣通首作特殊設計，能防止停泵后泵油返流而污染被抽空器及管路。

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