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              發布時間:2021-05-21 05:06  






              凈化車間FFU控制方式

              凈化車間FFU控制方式之計算機控制:此系統與前面兩種方式相比,計算機控制方式先進的功能,不但可以采用集散型控制方式,能夠很方便的實現FFU的集中監測和控制,而且還可以方便的實現FFU的單臺、多臺及分區控制。另外可以設置控制系統預留通信接口,可與上位機或網絡進行通訊,從而實現遠程通信和管理功能。







              早期的工業潔凈室

              個工業生產用潔凈室是在第二次世界1大戰中投入使用的,其主要目的是提高槍1械、坦克、飛機用儀器的質量和可靠性。那時人們認識到,必須提高生產環境的潔凈度,否則投彈瞄準器這樣的裝置就會出現故障。但當時只要假定潔凈室要保持得象人們的住房那樣清潔,于是便使用了不產生粒子的不銹鋼做表面裝修并保持其清潔。但人們還沒有認識到,由機器和人員產生的大量懸浮粒子之擴散,應由大量的潔凈送風使之降至zui低。








              半導體、集成電路生產的無塵車間要求

              半導體材料提純作為發展半導體器件的重要基礎。由于大規模和超大規模集成電路的工藝要求,為得到高純度的硅材料,原料和中間媒介的高純度和生產環境的潔凈度成為影響產品質量的一個突出問題。集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關,而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個數有關。因此,集成電路的高速發展,不僅對空氣中控制粒子的尺寸有極高的要求,而且也需進一步控制粒子數;同時,對于超大規模集成電路生產環境的化學污染控制也有相關的要求。










              凈化車間的平面規劃

              凈化車間通常包含凈化區、準凈化區和輔佐區三有些。

              凈化車間的平面安置能夠有以下幾種方法:

              外廊環繞式:外廊能夠有窗和無窗,兼作觀賞和放置一些設備用,有的在外廊內設值班采暖。外窗有必要是雙層密封窗。

              內廊式:凈化車間設在外圍,而走廊設在內部,這種走廊的凈化度等級通常都較高,乃至和凈化車間同級。

              兩頭式:凈化區設在一邊,另一邊設準凈化和輔佐用房。

              中心式:為了節約用地、縮短管線,能夠凈化區為中心,上下左右被各種輔佐用房和蔭蔽管道的空間包圍起來,這種方法避開室外氣候對凈化區的影響,削減了冷熱能耗,利于節能。







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