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旋片式真空泵是真空技術中很基本的真空獲得設備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片式真空泵有單級和雙級兩種。所謂雙級，就是在結構上將兩個單級泵串聯起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度

，主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。噴射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效應的壓力降生產的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵，適于在粘滯留和過渡流狀態下工作。在旋片泵的腔內偏心地安裝一個轉子，轉子外圓與泵腔內表面相切（二者有很小的間隙），轉子槽內裝有帶彈簧的二個旋片。旋轉時，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內壁保持接觸，轉子旋轉帶動旋片沿泵腔內壁滑動。

氣體傳輸泵氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵，這種泵基本上有兩種類型：變容真空泵利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵，氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復式及旋片式兩種：（1） 往復式真空泵：是利用泵腔內活塞做往復式運動，將氣體吸入、壓縮并排出。優點：相比旋片式真空泵耐用性要高好幾倍且抽氣速率大，價格相對高一點。因此，又稱為活塞式真空泵。（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔內活塞做旋轉運動，將氣體吸入、壓縮并排出。

阿爾卡特干泵ADP/ADS系列

   ADP/ADS系列2產品的四種型號可滿足不同真空要求，環境清潔的工藝應用可選擇LM型，輕型或中型應用要求可選擇P型，H型可供苛刻要求的工藝環境選擇。如過流部件采用新型的合成塑料，還應提供有關衛l生部門允許在醫l藥生產中使用的測試報告。許多來自半導體工業的主要制造商已經選擇這一產品，這一選擇使他們大大縮短了計劃外停l工期，從而節約了運行成本，提高了利潤率。

特點：

處理能力可靠性高寬交叉槽可容納大量粉塵和顆粒精l確而閉合的溫控系統、高操作溫度以及從進口到出口的氣體溫度的線性增長各級采取立式抽吸防止吹掃腔中粉塵聚集

旋片真空泵旋片真空泵主要由泵體（靜子）和轉子組成。在轉子槽中裝有兩塊以上的旋片，有些泵旋片間還裝有彈簧。轉子偏心地裝在泵腔內，其外緣與泵腔頂部表面的間隙為2～3微米。在傳動結構布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。轉子旋轉時，在離心力等作用下,旋片沿槽作往復滑動并與泵腔內壁始終保持接觸,將泵腔分成兩個或幾個可變容積的工作室。轉子順時針方向旋轉時,與吸氣口相通的吸氣腔容積由零逐漸增大,腔內氣體壓力降低，被抽氣體便從吸氣口源源不斷地吸入。同時,與排氣口相通的排氣腔容積由大變小，吸入腔內的氣體被壓縮，待氣體壓力高于大氣壓力時，推開排氣閥排出大氣。轉子連續轉動，泵便不斷抽氣。