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氦質譜檢漏儀

因此所有的真空部件在出廠時都要測試泄漏率指標。通常情況下，真空部件的泄漏檢測都是應用氦質譜檢漏，檢漏時構造一個臨時的密閉空間，利用氦質譜檢漏儀抽空后噴氦查找漏點（泄漏指標異常處）。氦質譜檢漏儀操作簡單，響應快，精度高，將真空波紋管一端連接到氦質譜檢漏儀的檢漏口上，另一端連接到氣瓶夾層

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氦質譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，

支持正壓檢漏，負壓檢漏

自動跟蹤本底，提供快速可靠的測量結果

優化設計的質譜系統和智能算法確保在所有量程快速響應

高可靠性的真空系統和質譜系統確保快速清氦

支持氮氣破空，不受環境氦氣干擾，快速降低本底

機器的性能支持7*24小時長時間在線測試

氦質譜檢漏儀逆擴散原理

電子元器件進密性檢測時常用背壓法。檢漏前用專用加壓容器向被檢件壓入氦氣(由壓力和時間控制壓入的量)，然后取出被檢件，吹去表面吸附氦后放入專用檢漏罐中，再將檢漏罐聯接到檢漏儀的檢漏口上，對檢漏罐抽真空，實施檢漏。若器件有漏，則通過該漏孔壓人的氦氣又釋放出來進入檢漏罐，終到達質譜管。用這種方法測得的漏率也是總漏率

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