云南電子無塵車間工程施工優惠報價,恒云凈化工程

種形式在小規模低等級要求的潔凈室車間設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈車間則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。

第二種形式的設計可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調節困難，系統升級改造困難，因此操作靈活性很低。

第三種的FFU循環系統不僅節省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產的情況下隨時進行系統升級和調整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業FFU循環系統逐漸成為很主要的凈化設計方案。

好的潔凈車間設計不僅能節省能源、降低運行成本、降低人力投入，而且可以給生產提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統中，FFU循環系統運行成本很低，潔凈度安全性很高，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環系統。空氣過濾器的入口質量濃度一般低于5mg/m3，而其出口質量濃度有的可以低到1m3空氣幾個微粒計數。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運行成本越高，因此在大環境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關鍵的工藝設備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區域內是集成電路制造潔凈廠房的設計趨勢。

活動縫隙（二類）的處理：

　　凈化車間門宙的開啟扇與框料如何搭接是凈化車間門宙密封設計中的關鍵。搭接處的縫隙有別于固定縫隙，因活動扇需要開啟而木能采取“一勞永逸”的封固措施。由于潔凈車間工程技術難度高，工程造價大，因此，在實施潔凈工程時，一直注重潔凈車間的設計。相對于宙而言，凈化車間門的開啟扇更大，活動縫隙在一捏凈化車間門的總構造縫隙數量中占有更大的比例，凈化車間門扇的開啟次數遠較宙為頻繁，而凈化車間門扇周邊縫隙的工作條件也比較復雜，以單扇平開凈化車間門為例，沿豎向的兩側邊小，裝執手的一邊經常受到通行時各種摩擦或碰撞，裝鉸鏈的一邊則因扇的旋轉而對膛的施力方向與其他三邊完全不同。

1、煙氣熱量積聚，蔓延途徑多。

潔凈室一般呈密閉狀態，門窗少，發生火災時，煙氣熱量不易向外散出，造成煙氣滯留，熱量劇增，加之廠房內通風管道、電氣線路套管、技術夾層等彼此聯通，很容易造成煙熱氣流向其它房間快速蔓延。

2、人員逃生困難。

潔凈室由于工藝上的要求，內部分隔復雜，通道曲折窄小，安全出口少，縱深距離長，火災發生后易迷失方向，加之工作人員少，初期火災難于及時發現，待煙火侵襲時已難脫身。