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              慢榨機過濾網蝕刻價格合理“本信息長期有效”

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              發布時間:2020-11-05 13:39  








              興之揚316不銹鋼網片小編給大家介紹什么是二氧化硅的濕式蝕刻:

              在微電子組件制作應用中,二氧化硅的濕式蝕刻通常采用HF溶液加以進行(5)。而二氧化硅可與室溫的HF溶液進行反應,但卻不會蝕刻硅基材及復晶硅。反應式如下:SiO2 6HF=H2 SiF6 2H2O

              由于HF對二氧化硅的蝕刻速率相當高,在制程上很難控制,因此在實際應用上都是使用稀釋后的HF溶液,或是添加NH4F作為緩沖劑的混合液,來進行二氧化硅的蝕刻。NH4F的加入可避免氟化物離子的消耗,以保持穩定的蝕刻速率。蝕刻不銹鋼帶料硬度為130度,此材料為深拉伸材料,延伸率可達50%以上,1/4H硬度為180度以上。而無添加緩沖劑HF蝕刻溶液常造成光阻的剝離。典型的緩沖氧化硅蝕刻液(BOE:BufferOxideEtcher)(體積比6:1之NH4F(40%)與HF(49%))對于高溫成長氧化層的蝕刻速率約為1000?/min。

              在半導體制程中,二氧化硅的形成方式可分為熱氧化及化學氣相沉積等方式;而所采用的二氧化硅除了純二氧化硅外,尚有含有雜質的二氧化硅如BPSG等。然而由于這些以不同方式成長或不同成份的二氧化硅,其組成或是結構并不完全相同,因此HF溶液對于這些二氧化硅的蝕刻速率也會不同。在金屬蝕刻的防蝕層制作中涂裝技術應用較多,常用的涂裝方法有絲印法、浸涂法、噴涂法、電泳涂裝等。但一般而言,高溫熱成長的氧化層較以化學氣相沉積方式之氧化層蝕刻速率為慢,因其組成結構較為致密。



              興之揚吹風機鋼網片小編給大家介紹濕式蝕刻對溶液濃度及溫度有什么要求:

              濕式蝕刻的速率通??山逵筛淖內芤簼舛燃皽囟扔枰钥刂啤H芤簼舛瓤筛淖兎磻镔|到達及離開待蝕刻物表面的速率,一般而言,當溶液濃度增加時,蝕刻速率將會提高。而提高溶液溫度可加速化學反應速率,進而加速蝕刻速率。

              濕式蝕刻除了溶液的選用外,選擇適用的屏蔽物質亦是十分重要的,它必須與待蝕刻材料表面有很好的附著性、并能承受蝕刻溶液的侵蝕且穩定而不變質。而光阻通常是一個很好的屏蔽材料,且由于其圖案轉印步驟簡單,因此常被使用。但使用光阻作為屏蔽材料時也會發生邊緣剝離或龜裂的情形。碳鋼、鐵素體型和馬氏體型不銹鋼方鋼有磁性,奧氏體型不銹鋼方鋼無磁性,但其冷加工硬化生成成氏體相變時將會發生磁性,可用熱措置辦法來消弭這種馬氏體組織而恢復其無磁性。邊緣剝離乃由于蝕刻溶液的侵蝕,造成光阻與基材間的黏著性變差所致。解決的方法則可使用黏著促進劑來增加光阻與基材間的黏著性,如Hexamethyl-disilazane(HMDS)。龜裂則是因為光阻與基材間的應力差異太大,減緩龜裂的方法可利用較具彈性的屏蔽材質來吸收兩者間的應力差。

              蝕刻化學反應過程中所產生的氣泡常會造成蝕刻的不均勻性,氣泡留滯于基材上阻止了蝕刻溶液與待蝕刻物表面的接觸,將使得蝕刻速率變慢或停滯,直到氣泡離開基材表面。首先,要知道為什么會出現這種情況,出現這種情況的原因是什么呢。因此在這種情況下會在溶液中加入一些催化劑增進蝕刻溶液與待蝕刻物表面的接觸,并在蝕刻過程中予于攪動以加速氣泡的脫離。



              興之揚吹風機蝕刻不銹鋼網小編給大家介紹金屬蝕刻加工前的質量驗收規范:

              (1)待金屬蝕刻來料數量應符合產品交接單,并簽署產品交接手續。

              (2)待金屬蝕刻工件應附有金屬材料的牌號、熱處理狀態機成形方法。對于有特殊要求的工件應提供與工件材料及加工方式完全一致的樣件。

              (3)待金屬蝕刻工件必須符合產品技術要求、并附有相應的產品樣圖、簽署完整的工藝文件及上道工序的質量卡。

              (4)待金屬腐蝕工件的表面應無油漆。印跡、嚴重銹蝕及其他贓物,如銹蝕嚴重應另附文件說明原因和處理方法。

              (5)待金屬腐蝕工件表面不允許有超過原材料標準規定的劃痕、碰傷、壓坑;不允許有超過產品樣圖規定的擦傷、壓傷及金屬或非金屬壓入物、裂紋軋痕等。對于非結構低要求工件,如允許有上述表面缺陷應在交接工藝工件上注明允許缺陷的內容及程度。

              (6)待金屬蝕刻工件需裝夾、吊掛的部位應留有加工余量,如是已完成外形加工的工件,應標明在工件上可以裝夾、吊掛的位置。

              (7)待金屬蝕刻工件上的機加工邊緣應,沒有毛刺、銳邊應倒圓角、無焊接飛濺物等。

              (8)允許在腐蝕加工余量區域規定的其他位置上制作刻形用的基準線、定位孔、沖眼及像限線,其尺寸應附合工藝文件的規定。

              (9)工件的毛胚及試樣的下料方向應符合有關工藝文件的要求。



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