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發布時間:2020-12-22 14:41  





電子束結構介紹
粒子增速器的結構可以與顯像管類比。電子束蒸發鍍膜機安裝介紹安裝臺架:整個設備安放在一個用型鋼焊接而成的臺架上,此臺架及圍板均進行防銹及噴塑處理。顯像管中的電子槍對應于增速器的電子槍或離子源,顯像管中加速電子用的高壓電極對應于增速器中的高壓加速電極及加速腔。顯像管中控制電子運動的電偏轉板與聚焦電子的聚焦線圈,對應于增速器中控制粒子運動軌道和聚焦粒子束流的多種電磁部件,如導向磁鐵、聚焦磁鐵、多極校正磁鐵等。對粒子增速器的粒子運行管道來說,為了減少粒子在運動中與殘余氣體碰撞而造成粒子的丟失和束流性能變壞,所要求的真空度比顯像管要高數千到數萬倍。隨著科學技術的不斷發展,根據科學家對粒子能量和流強的不同要求,陸續產生了不同原理、不同結構的多種增速器。
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電子束操作及注意事項
①電子槍工作前必須檢查水流是否正常,工作過程中務必保證水壓、水流量指示,否則將造成坩堝損壞。?
②電子槍起動真空度6.7×10-3Pa。?
③蒸發前電子槍的陰極燈絲應預熱,預熱電流為0.6A,預熱時間新陰極5分鐘以上(應緩慢調至0.6A,以防陰極變形),舊陰極2分鐘即可。?
④蒸發前對材料先預熱除氣。?
⑤蒸發完后,按下列順序關閉高壓電源:關蒸發檔板→關閉高壓→燈絲電源調至預熱0.6A的位置→關閉束流調節電源并調至低位置→關閉磁場電源,工作時操作順序與此順序相反。?
⑥電子槍燈絲停止加熱后,要停留10分鐘以上才能向蒸發室放氣
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電子束鍍膜屬于蒸鍍還是濺射?
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1.蒸發鍍膜和濺射鍍以及離子鍍都是物理氣相沉積(PVD)的工藝方法。
2.蒸發鍍主要包括:電阻加熱蒸發、感應加熱蒸發、電子束蒸發、激光加熱蒸發、離子束蒸鍍等。
3.您所說的E型槍鍍膜和直型電子槍鍍膜都是屬于熱蒸發鍍膜的范疇。
4.S槍濺射實際就是錐形磁控濺射靶,陰極靶材為環狀錐形,安裝在水冷座上。2、分子篩吸附裝置,避免機械泵返油造成膜層污染,提高薄膜純凈度。環狀磁鋼套在靶材外邊形成曲線磁場,其平行靶面的磁場分量和垂直于靶面的電場分量形成正交電磁場。電子束被約束在靶面附近運動,電子流密度很大,在靶面附近產生很強的非彈性碰撞,電離幾率很大,形成很強的等離子體。