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羅茨真空機組除具有良好的機械性能和加工性能外，還要滿足其他性能的要求，即容易除氣、低的飽和蒸氣壓、一定的化學穩定性、一定的純度和清潔度、合適的輻射能力等。所以羅茨真空機組具有特殊性，對清潔處理要求是極為嚴格的，應清除或減少零件的污染。　　

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羅茨真空機組的一般規定：

1、操作人員對羅茨真空機組的安全使用及正確保養負全部責任。

2、按照保養規程對羅茨真空機組進行定期清潔、潤滑、檢查和調整，使中級、主泵保持良好狀態。

3、在工作中如發現異常聲響和振動時應停機排查。

4、電氣設備外殼必須接地或接零。

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羅茨真空機組開機前的準備

1、檢查中間泵及主泵循環冷卻水水路是否完好，打開循環冷卻水進出口閥門，檢查循環冷卻進出水是否正常。

2、檢查中間泵底部緩沖罐排污閥門是否關閉。

3、檢查真空泵機組電路完好及控制柜各項指示等是否正常。

4、檢查真空泵機組電極觸點壓力表中級泵、主泵啟動壓力是否正常。

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真空機組運行故障原因及解決方法：

啟動困難原因：

1、起動時液環真空泵內液位過高；

2、內部機件生銹或者泵內部結冰；

3、排出壓力；

4、配電屏電流保護調整不當。

試車或運轉過程中出現卡死現象原因：

1、新管路有焊渣鐵屑等異物被氣體帶入泵體內；

2、結垢嚴重。