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              發布時間:2020-07-29 05:42  






              復合式(Mixed Type)

              復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。

              (1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區輕易執行。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

              (2)潔凈管道(Clean Tube):將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。靜電場中的陰極線在高壓靜電的作用下,產生電暈放電,電暈層中產生大量的負離子,負離子在靜電場的作用下,不斷地向陽極運動。

              (3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。



              凈化工程是一個應用行業非常廣泛的基礎性配套產業,(21世紀)在電子信息、半導體、光電子、精密制造、醫護衛生、生物工程、航天航空、汽車噴涂等眾多行業均有應用,并根據行業的精密與無塵要求,等級差別也較大。目前級別相當高的當屬航天航空的航空倉,基本是屬于1級,屬于特殊領域,面積相對較小。凈化車間另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產車間,物聯網芯片的發展將是未來需求的一大方向。隨著電子元器件向微小化方向發展,液晶面板已經升級至第八代,行業需求非常巨大。當空氣中粉塵通過電場時,粉塵受到負離子的碰撞帶上電荷,帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場的作用,向陽極(集塵極)運動,到達陽極后釋放電荷。



              信封結構系統:簡單來說,它是頂部,墻壁和地面,即構成三維受限空間的六個面。精美,包括門窗,裝飾弧等;管道系統:包括供氣,回風,新風,排風管,端部和控制裝置;

              空調系統:包括冷(熱)水單元(包括水泵,冷卻塔等)(或風冷管道水平儀等),管道,組合凈化空調箱(包括混流段,初始效果段),加熱部分,制冷部分,除濕部分,加壓部分,中效部分,靜壓部分等);





              提高設備水平

              設備的材質、加工精度、密閉程度以及管理制度都與交叉污染有關。所以潔凈車間除了合理布局外,提高設備的自動化水平和組成聯動的生產線,以減少操作人員,降低人員的活動頻率,是防止交叉污染的必要措施。


              分設潔凈車間空調凈化系統

              潔凈室的空調凈化系統應根據不同的潔凈度等級分設。對β-內酰胺類、避孕藥品、強毒微生物等的工作室,應設置空調凈化系統,其排風口應安裝過濾設備,以將這些藥的污染降至低限度。對不同潔凈度等級的潔凈室,產生粉塵和有害氣體的潔凈車間,被排介質毒性大的、,應單獨設局部排風系統。潔凈車間的排風口應有防倒灌裝置。(1)送風口出口氣流速度不宜太大,和單純空調房間相比,要求速度衰減更快,擴散角度更大。送風、回風和排風的啟閉應有連鎖裝置。




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