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發布時間:2021-10-27 04:55  






陜西屹達空壓機廠家分享:泵總體結構型式真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。立式結構的進、排氣口水平設置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的較高,在高速運轉時穩定性差,故這種型式多用于小泵。泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制,轉子裝配方便,泵占地面積小。但泵較高且齒輪拆裝不便,潤滑機構也相對復雜。
在連接管路中,用戶可在真空泵進氣口上方安裝閥門及真空計,隨時可檢查真空泵的極限壓力。按電動機標牌規定連接電源,并接地線和安裝合適規格的熔斷器及熱繼電器。真空泵通電試運轉時,須取下電機皮帶,確認真空泵轉向符合規定方向方可投入使用,以防真空泵反轉噴油。(轉向按防護罩指示方向)對于有冷卻水的真空泵,按規定接通冷卻水。如真空泵口安裝電磁閥時,閥與真空泵應同時動作。當真空泵排出氣體影響工作環境時,可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。

分子泵:分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展,分子泵應該是中國真空泵制造業發展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場合的需要。

真空泵不斷向高速度發展,由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高,油品很容易氧化分解,尤其擴散泵往往處于很高的溫度環境下工作,使系統內蒸氣壓升高,真空度降低,因此要求真空泵油具有良好的熱氧化安定性。真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體,會與油發生化學反應,腐蝕泵內零件;吸入空氣中往往含有水汽冷凝水,引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕,所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。主要要求真空泵中不攜帶輕質組分,以免影響油品的飽和蒸氣壓。極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標以了解在低真空極限壓力下真空泵的極限壓力。
