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發布時間:2020-08-13 03:15  





極值監控法:當膜厚度增加的時候其反射率和穿透率會跟著起變化,當反射率或穿透率走到極值點的時候,就可以知道鍍膜之光學厚度ND是監控波長的四分之一的整倍數。但是極值的方法誤差比較大,因為當反射率或者透過率在極值附近變化很慢,亦就是膜厚ND增加很多,R/T才有變化。反映比較靈敏的位置在八分之一波長處。
3.定值監控法:此方法利用停鍍點不在監控波長四分之一波位,然后由計算機計算在波長一時總膜厚之反射率是多少,此即為停止鍍膜點。
水晶振蕩監控:利用石英晶體振動頻率與其質量成反比的原理工作的。但是石英監控有一個不好之處就是當膜厚增加到厚度后,振動頻率不全然由于石英本身的特性使厚度與頻率之間有線性關系,此時須使用新的石英振蕩片。
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由水平調整的自準直儀發出一束激光穿過真空室的玻璃窗照射固定于工作臺上的反射鏡,在大氣環境下調變補償調節機構,
使反射光束進入自準直儀接收視場,記錄兩維角度偏差。真空鍍膜加工
按有限元計算的真空狀態下的補償量再次調整,顯然,此時的反射光束已遠離自準直儀接收視場,但一旦真空室進入真空狀態,
反射光束又重新進入自準直儀的接收視場,記錄此時的兩維角度偏差。前后兩次顯示的兩維角度偏差基本吻合。
對于真空鍍膜加工單片膜色不均勻產生的原因
主要是由于基片凹凸嚴重,與傘片曲率差異較大,基片上部、或下部法線與蒸發源構成的蒸發角差異較大。造成一片鏡片上各部位接受膜料的條件差異大,形成的膜厚差異大。?
另外鏡片被鏡圈()邊緣部遮擋、鏡圈()臟在蒸鍍時污染鏡片等等也會造成膜色差異問題。?
改善思路:改善鏡片邊緣的蒸發角。
改善對策:?
㈠?條件許可,用行星夾具;?
㈡?選用傘片平坦(R大)的機臺;?
㈢?根據傘片孔位分布,基片形狀,制作專門的鋸齒形修正板。?
㈣?如果有可能,把蒸發源往真空室中間移動,也可改善單片的膜色均勻性。?㈤?改善鏡圈(),防止遮擋。?
㈥?注意旋轉傘架的相應部位對邊緣鏡片的部分遮擋?㈦?清潔鏡圈()?㈧?改善膜料蒸發狀況。