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氦質譜檢漏儀

氦質譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；以上是由北京科儀創新真空技術有限公司發表內容，如有需要，歡迎撥打圖片上的熱線電話。另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

北京科儀創新真空技術有限公司專業生產氦質譜檢漏儀，如您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢！

什么是氦質譜檢漏儀

氦質譜檢漏儀品牌淺析什么是氦質譜檢漏儀

氦質譜檢漏儀可靠的品質保證廣泛的市場應用，此款氦質譜檢漏儀適用于工業、分析研究、鍍膜市場等。此款氦質譜檢漏儀堅固耐用，抗震性能極強，可反復使用數年仍保證的檢漏漏率。氦質譜檢漏儀緊湊的設計適合串列生產和持續工作。氫氣有些性能（如質量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。氦質譜檢漏儀主要特點：前級泵配備抽速高達15 m3/h 旋片泵，對氦氣抽速可達 2.5l/s，氦質譜檢漏儀 ASM 340 對氦氣的蕞小檢測漏率：

真空模式：5 · 10-13 Pa m3/s

吸槍的模式：5 · 10-10 Pa m3/s

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氦質譜檢漏儀的進展

（1）便攜式：zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。

（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。

（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。氦質譜檢漏儀由微機控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

（5）檢漏范圍寬：現今生產的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。

氦質譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優點而被廣泛應用于壓力容器、航空航天、原子能、發電廠、制冷工業等領域。檢漏儀在使用過程中，往往會因為產生的一些故障或是現象，而影響檢漏工作的正常進度，若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現象是使用者能夠及時解決或避免的，掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。真空壓力法的檢測標準有GB/T15823-2009《氦泄漏檢驗》，主要應用于結構簡單、壓力不是特別高的密封產品，如電磁閥、高壓充氣管道、推進劑貯箱、天線、應答機、整星產品等。

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