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發(fā)布時間:2020-05-23 12:05  





什么是流量控制器
質(zhì)量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質(zhì)量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。擴散,氣體流量控制器報價,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點:精度高,重復性好。
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流量控制器內(nèi)存在水汽有多糟解決方法
如果ALICAT質(zhì)量流量控制器內(nèi)滲入水汽,情況則不至于那么糟。與熱式原理不同,ALICAT質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器采用層流壓差技術(shù),依托專利的層流片結(jié)構(gòu)將氣體由湍流轉(zhuǎn)為層流運動,氣體流量控制器哪里有,通過測量層流片兩端氣體壓力差的方法來測量流量。
上述水處理工廠無法忍受每次滲入水汽后都不得不采購一批新的質(zhì)量流量控制器,終將所有熱式原理的儀器替換成了ALICAT。而今,當再有液態(tài)氨進入到質(zhì)量流量計或質(zhì)量流量控制器內(nèi)部時,只需簡單地用高壓氨氣沖洗管路后進行消毒即可。
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流量控制器的原理是什么?
質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。質(zhì)量流量控制器的剖面結(jié)構(gòu)圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表,氣體流量控制器, 設定電位器, 外設、內(nèi)設轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。氣體質(zhì)量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。


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