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亂流潔凈室

亂流潔凈室亂流潔凈室的主要特點是從來流到出流（從送風口到回風口）之間氣流的流通截面是變化的，潔凈室截面比送風口截面大得多，天津潔凈車間，因而不能在全室截面或者在全室工作區截面形成勻速氣流。所以，送風口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內不可能以單一方向流動，將會彼此撞擊，將有回流、旋渦產生。這就決定亂流潔凈室的流態實質是：突變流；非均勻流。這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更。紊流主要決定于雷諾數，也就是主要受流速的影響，但是如果采用一個過濾器頂送的送風形式，天津潔凈車間造價，則即使流速極低，也要產生上述各種結果，這就因為它是一個突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發生的摻混，而且還有全室范圍內的大的回流、旋渦所發生的摻混。所以，概括地說，亂流潔凈室的作用原理是：當一股干凈氣流從送風口送入室內時，迅速向四周擴散、混合，同時把差不多同樣數量的氣流從回風口排走，天津潔凈車間施工公司，這股干凈氣流稀釋著室內污染的空氣，把原來含塵濃度很高的室內空氣沖淡了，一直達到平衡。所以氣流擴散得越快，越均勻，稀釋的技果就越好。

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我國使用的0.1微米十級潔凈室主要依賴從國外進口。由于高潔凈級別的潔凈室造價十分昂貴，0.1微米十級潔凈室每平方米造價高達1萬美元以上。在大規模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當高的比例，這與集成電路工藝不斷更新，產品更新換代周期越來越快的發展趨勢不相適應，嚴重制約了大規模集成電路技術的發展。美國ASYST公司、德國MW公司發展的使用隔離技術的亞微米生產微環境系統設備和技術在近幾年中得到廣泛采用。該項的潔凈技術在100級潔凈度的潔凈廠房中，采用工藝設備局部使用隔離技術的微環境，把投資比例壓縮到別的微環境，消除了操作者與工藝設備運行的二次污染源產生對集成電路成品率和可靠性的影響作用。

機房方位空調機房接近需求送風量大的凈化車間，力求風管的線路。但從避免噪聲和振蕩來說又需求把凈化車間與機房離隔。這兩方面都予以思考。離隔方法有：結構別離方法。有以下幾種：(1)沉降縫離隔式。使沉降縫在凈化車間與機房之間經過，起切割效果。(2)夾壁墻離隔式。假如機房緊靠凈化車間，不是共用一面墻隔墻，而是各自有各自的隔墻，而雙面隔墻之間留有必定寬度的縫隙。(3)輔佐室離隔式。在凈化車間與機房之間設輔佐室，起緩沖效果。

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