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發布時間:2021-07-27 11:32  





ST系列鍍膜機
ST系列鍍膜機系我司標準化產品,滿足大部分實驗室科研需求,豐富的可選配置也可響應您的特殊需要。特點:1、集成一體化結構。
2、極限真空度高,可達7×10-5Pa,可保證更高的鍍膜純凈度,提高鍍膜質量。
3、從大氣到工作背景真空(7×10-4Pa)時間短,30分鐘左右(充干燥氮氣)。 系統停泵關機12小時后真空度:≤8Pa。
4、整機采用柜式結構,密封性能好,防塵防水,安全。
5、磁控、熱蒸發多種鍍膜方式可選。
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真空鍍膜機的真空室設計方法
真空鍍膜技術是在真空條件下采用物理或者化學方法,使物體表面獲取所需膜體,真空鍍膜技術根據其采用方法的不同科分成蒸發鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等,這次分析的鍍膜設備采用的是磁控濺射鍍膜。
真空室是真空設備的一個主要組成部位,真空鍍膜設備真空室設計主要考慮的就是密封性和可靠性,結構必須要合理,真空設備的材料生產都是在真空室內進行的,材料對真空度的影響要小,設計不能馬虎,要注意一些問題。
使用磁控濺射的真空鍍膜機一般采用的是圓筒主體結構,結構上要保證快速抽空,因氣袋會緩慢的放氣,因此要避免出現隔離孔穴,真空系統上端會加裝磁控濺射槍,為了使真空室和元件有足夠的強度,保證在外部和內部的作用力下不產生形狀的變化,厚度需要足夠。
焊接是真空室制造中的一道關鍵工序,保證焊接之后的真空室不會產生漏氣現象,須合理設計焊接結構,提高焊接質量,處在超高真空的內壁粗糙度要拋光使室外室內表面很光潔,須特別注意的是需做好防止生銹的措施。
真空鍍膜設備真空泵的選擇
真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。
真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。