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              發布時間:2020-08-01 05:26  






              氮氣、高純氮氣使用操作時要注意什么:

              拆卸、檢修有氮封的容器蓋板(盲板)、閥門時,必須先關閉進氮閥門,必要時加板隔斷。作業人員要進入氮封的設備,或探入氮封設備前,必須在辦理作業許可證的同時,進行第二階段風險評估并經額外授權方可作業.進入人員必須佩帶隔離式空氣防毒面具,二人協同進行,設備人孔口外要有專人監護,未經批準,嚴禁進入和探入。

              在打開經過氮氣吹掃置換工藝處理的入孔或其它開口處,為防止未經許可隨意進入可能存在缺氧環境的受限空間,作業過程中人員全部離開后,監護人員及時恢復設置。

              在使用液氮裝軸承時提供良好的自然通風條件。操作人員必須經過專門培訓,嚴格遵守操作規程。戴防寒手套,防止氣體泄漏到工作場所空氣中。




              電子氣體的分類

              一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。目前電子消費品的種類繁多以及升級換代日趨頻繁,同類產品的不同制造規模、不同級別檔次的生產工廠和科研機構共存。

              大規模供氣系統主要針對大規模量產的超大規模集成電路廠(氣體種類包括等),以上的太陽能電池生產線(氣體種類包括發光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括,代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括,光纖(氣體種類包括硅材料外延生產線(氣體種類包括等行業。它們的投資規模巨大,采用先進的工藝制程設備,用氣需求大,對穩定和不間斷供應、純度控制和安全生產提出嚴格的要求。上述工廠的大宗普通氣體多采用現場制氣或工業園區管道集中供應方式,一個年產萬片的超大規模集成電路廠高純氮氣的需求超過,發光二極管的磊晶工序線和硅外延生產線的氫氣需求超過。除了普通鋼瓶(及以下)包裝的特種氣體外,還有多種類的特種氣體都普遍采用大包裝容器,由此它們被稱為大宗特氣,包括鋼瓶集裝格罐等。




              如何保證電子氣體的安全儲存

              如何保證電子氣體的安全儲存、使用操作,系統的工藝和產品本征安全設計,在眾多的國際標準規范如,等都有很詳細的規定,目前中國國內也正在起草針對電子特種氣體的國家標準規范。通常而言,會根據氣體性質和相容性,將氣體房分成可燃氣體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房等。氣體房規劃需要考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物總量控制等等。針對輸送系統,特別是系統,因總量較大,應釆用隔離式建筑。氣體房和氣柜應采用自動噴淋系統。而三氟化氯遇水反應,需要采用二氧化碳滅火系統。

              使用電子氣體的工廠抽風系統,也根據危險品性質分成了普通排風系統(,酸性排風系統(,溶劑排風系統(和氨氣排風系統(。換鋼瓶時的吹掃尾氣,也建議排放至尾氣處理器中。輸送管道一般采用無縫管。施工釆用自動軌道焊接,經保壓、氦檢漏和純度測試。對于毒、高反應性和自燃氣體,應使用雙套管輸送。一些毒氣體如磷烷等,安全輸送系統(正在被廣泛使用。其鋼瓶內采用負壓吸附的方式,用真空法輸送,從根本上避免了氣體的泄漏。氣體偵測系統(是全廠生命安全系統(的重要組成部分。對于偵測器的要求,除了精度高,反應迅速外,還應具備自檢功能。




              高純氣體怎么做成零點氣體

              高純氣體用作零點氣的制作完全類似于氣體標準物質的制作,但操作過程可以簡化。通常使用的稀釋氣體中的某種或某類雜質含量低于分析方法所采用測量儀器的小檢出量,則此種稀釋氣就可為“零點”氣使用。

              零點氣體是用于在給定的含量范圍內,用給定的分析方法去校準標準工作曲線的零點。當其作為被測樣品進入檢測儀表后,在儀器選下的測量范圍內,僅呈現儀表零點的響應值,而不會產生偏離預置零點以外的響應信號。對不同類型的檢測方法和不同燈頭型的檢測儀器,zui低檢測限會對零點氣體提出不同的要求。

              如用在線分析儀器測量CO2高純氣體中的總烴含量時,可采用氣相色譜法用氫火焰離子化檢測器(FID)檢測,由于FID存在強烈的基體效應,當采用不同基體的零點氣校正儀表時,會導到致不可忽略的誤差。




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