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發布時間:2020-10-06 09:20  





公司產品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據客戶的構想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質量掩膜版以及后期的代加工服務!
濺鍍法(Sputtering):(1)上平行板:裝載濺鍍金屬的靶材;下平行板:作為濺鍍對象的玻璃基板。(2)將氣(Ar 2 )通入反應艙中形成等離子體;離子(Ar )在電場中被加速后沖撞靶材;受沖擊的靶材原子會沉積在玻璃基板上從而形成薄膜。
掩膜版是對勻膠鉻版經過光繪加工后的產品。勻膠鉻版(光掩膜基版)由玻璃基板、鉻層、氧化鉻層和光刻膠層構成的。通過光刻制版工藝,將微米級和納米級的精細圖案刻制于掩膜版基板上從而制作成掩膜版。
光刻掩膜版材質可分為石英掩膜版、蘇打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)等。其中石英掩膜版和蘇打掩膜版為高校和科研院所光刻時所常用的光刻掩膜版。
石英掩膜版
使用石英玻璃為基板材料,光學透過率高,熱膨脹率低,相比蘇打玻璃更為平整和耐磨,使用壽命長,主要用于掩膜版
使用蘇打玻璃作為基板材料,光學透過率較高,熱膨脹率相對高于石英玻璃,平整度和耐磨性相對弱于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版