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發布時間:2020-08-08 12:51  





氦質譜檢漏儀
因此所有的真空部件在出廠時都要測試泄漏率指標。通常情況下,真空部件的泄漏檢測都是應用氦質譜檢漏,檢漏時構造一個臨時的密閉空間,利用氦質譜檢漏儀抽空后噴氦查找漏點(泄漏指標異常處)。氦質譜檢漏儀操作簡單,響應快,精度高,將真空波紋管一端連接到氦質譜檢漏儀的檢漏口上,另一端連接到氣瓶夾層
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支持正壓檢漏,負壓檢漏
自動跟蹤本底,提供快速可靠的測量結果
優化設計的質譜系統和智能算法確保在所有量程快速響應
高可靠性的真空系統和質譜系統確??焖偾搴?
支持氮氣破空,不受環境氦氣干擾,快速降低本底
機器的性能支持7*24小時長時間在線測試
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工業用氦:氦含量≥99%,≤43℃.
純氦分三級:優等品氦含量≥99.995%;一等品氦含量≥99.993%;合格品氦含量≥99.99%。
高純氦分為三級:優等品氦含量≥99.9996%;一等品氦含量≥99.9993%;合格品氦含量≥99.999%。氦氣在氦質譜檢漏儀檢漏中作為示蹤氣體使用,純度要求不高,一般選用工業用氦,即氦含量≥99%,≤43℃。
高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數百帕左右,對檢測大系統和有大漏的工件很有益。自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節零點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。