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氦質譜檢漏儀

因此所有的真空部件在出廠時都要測試泄漏率指標。通常情況下，真空部件的泄漏檢測都是應用氦質譜檢漏，檢漏時構造一個臨時的密閉空間，利用氦質譜檢漏儀抽空后噴氦查找漏點（泄漏指標異常處）。氦質譜檢漏儀操作簡單，響應快，精度高，將真空波紋管一端連接到氦質譜檢漏儀的檢漏口上，另一端連接到氣瓶夾層

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年泄漏率大的標準漏孔，更是要注意，經常校準。如果發現異常，要用外置漏孔校準。注意使用的環境。標準漏孔的生產、檢測，都是在20-25℃的室溫下進行。尤其有些標準漏孔，對溫度特別敏感。溫度每變化1℃，標準漏孔的漏率就有3%以上的誤差。例如，夏天，室溫達到30℃，這種標準漏孔的漏率誤差增加30%。

氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應出來，靈敏度高。氦的質量小（相對分子質量為4），易于穿過漏孔。

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