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發布時間:2020-11-11 12:32  





氦質譜檢漏儀
氦質譜檢漏儀(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)為氣體工業名詞術語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,
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標準漏孔的自身要符合相關的質量要求。標準漏孔能自帶第三方的檢測證書。例如,美國國家計量院NIST;中國國家計量院,或有資質的檢定機構;德國的DKD等。標準漏孔要通過有標準漏孔檢定資質的第三方,進行檢定。以此來保證標準漏孔本身沒有問題。標準漏孔要經常檢定、校準。建議每年進行一次校準。
氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量(在空氣中約含5.2ppm),在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小。正因為本底小,由某些原因引起本底的波動,亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應出來,靈敏度高。氦的質量?。ㄏ鄬Ψ肿淤|量為4),易于穿過漏孔。
氫氣有些性能(如質量小、易通過漏孔)比氦還好,然而由于氫一方面有危險,另一方面在油擴散泵中,由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫,使氫本底極高且波動大,以致靈敏度大大降低,所以很少采用。氦氣是一種無色、無味的隋性氣體。相對分子質量為4.003,分子直徑為2.18×10-10m,