非標抽真空機參數(shù)多重優(yōu)惠中科鼎新有限公司

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發(fā)布時間：2021-07-28 06:23

真空機組對機組的要求

超高真空抽氣機組超高真空抽氣機組工作在10-5~10-10Pa的超高真空壓力范圍內(nèi),除了要求真空室的材料出氣率很低、漏氣率很小、能經(jīng)受200~450℃高溫烘烤外,對機組的要求還有:

(1)主泵的極限真空度高,至少在10-7~10-8Pa以上。

(2)在超高真空的工作壓力范圍內(nèi)主泵應(yīng)具有一定的抽速。

(3)機組的主泵或主泵進氣口以上部分能承受200~450℃的高溫烘烤。

(4)來自主泵的返流氣體(包括工作液蒸氣及解析的氣體)的分壓力足夠低。

(5)對被抽氣體選擇性強的主泵,要配備足夠大的輔助泵。

(6)機組主泵進氣口以上的管道、閥門等部件,對材料的選擇和密封要特別慎重。一般采用出氣率較低的不銹鋼和金屬密封材料,以耐高溫烘烤。

超高真空機組的特點及分類

工作在10-5Pa以上的超高真空機組有擴散泵、分子泵超高真空機組和無油超高真空機組.該機組有如下特點:

①主泵極限真空度高，在10-7~10-8pa以上;

②能經(jīng)受200~450℃的高溫烘烤;

③主泵返流氣體的分壓力很低;

④對被抽氣體選擇性強的主泵，要配備足夠大的輔助泵;

⑤要求真空室、管道、閥門等部件的材料出氣率很低，漏氣率很小。

(1)擴散泵超高真空機組

以擴散泵為主泵的超高真空機組的極限真空度為10-7~10-8Pa。

為減少來自擴散泵前級的氣體反擴散和阻擋機械泵油的反擴散對極限真空度的影響，可在擴散泵前級申聯(lián)一臺抽速小的擴散泵，以降低壓縮比，減小反擴散。如在擴散泵進氣口上邊增設(shè)鈦升華阱，可進一步降低來自擴散泵的氮氣分壓力，能獲得10-11Pa的超高真空。空氣門關(guān)閉或運行泵停運后，每分鐘記錄一次凝汽器真空及排汽溫度，8min后開啟空氣門，取后5min的平均值作為測試結(jié)果。

(2)分子泵超高真空機組

以分子泵為主泵的超高真空機組其極限真空度為10-8Pa，特點是啟動快，油的污染小。

在機組內(nèi)增加液氮冷阱，可以增大抽速。機械泵出口處設(shè)有水冷阱，可以防止油蒸氣進入系統(tǒng)。

(3)無油超高真空機組

不用油做工作液和不用有機材料密封的真空機組稱為無油超高真空機組。常用的主泵有低溫泵、鈦泵、濺射離子泵等，可得到極限真空度10-7~10-8Pa。與有油真空機組比較，它有如下優(yōu)點:

①可獲得清潔真空、無污染源;

②當無油真空泵啟動后，即可隔離預(yù)抽泵;

③如突然抽氣停止，不會污染系統(tǒng);

④無油、無聲、無振動，改善了工作環(huán)境;

⑤極限真空度高，抽速大，抽氣時間短。

真空機組安全風(fēng)險管控措施分析

1、容器炸裂管控措施分析

真空機組排氣過濾器應(yīng)用足夠大的容量以保證真空泵在大的抽氣量的條件安全運行。提供措施確保其過濾器在飽和或阻塞情況下不會導(dǎo)致泵入口壓力超過其允許的高工作壓力。在泵的排氣口處或真空系統(tǒng)內(nèi)積累的碎片無法避免時，應(yīng)配排氣壓力監(jiān)控裝置或壓力調(diào)節(jié)閥。

2、其他事故管控措施分析

1）真空機組中各種泵所需冷卻介質(zhì)以及水環(huán)泵工作液的供給管路配備斷液報警裝置。

2）真空機組安裝應(yīng)急停止設(shè)備裝置，在發(fā)生緊急情況時能及時關(guān)停設(shè)備。