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發布時間:2020-11-11 00:06  
半導體行業作為高新技術產業往往被人誤解為“清潔”產業,但事實上,半導體生產過程中使用了大量有機和無機物,這些溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放,對環境危害較為嚴重,如不加以控制,將會產生較大的環境污染。半導體工藝過程中有機廢氣具有排放風量大、濃度低和成分復雜的特點,使用其它的處理技術難以達到令人滿意的處理效率。比較適用的是吸附——催化燃燒法,目前一些大型半導體企業已采用沸石轉輪催化燃燒技術。沸石轉輪催化燃燒設備大風量、低濃度的揮發性有機廢氣(VOCs)經過過濾器過濾后,進入沸石分子篩被吸附、濃縮,被吸附凈化后的干凈空氣通過煙囪排入大氣。 次數用完API KEY 超過次數限制

該工藝適用于中低濃度,中小風量的有機廢氣治理,是目前國內治理“三苯”有機廢氣成熟的使用方法。對于本方案量不大、較低濃度的混合有機廢氣比較適合選用該工藝。(2)燃燒法本法亦稱為熱氧化法、熱力燃燒法,主要用于有機物高濃度廢氣的凈化。對于自身不能燃燒的中低濃度尾氣,通常需助燃劑或加熱,能耗大,運行成本比催化燃燒法高10倍以上;運行技術要求高,不易控制與掌握。此法在國內基本上未獲推廣,僅有少數廠家引進國外治理設備運用于較高濃度和溫度的制罐印鐵業廢氣治理中,但終因能耗大及運行不穩定,難以正常運轉。 次數用完API KEY 超過次數限制
印刷廠廢氣處理工藝流程圖印刷油墨廢氣工藝說明:有機廢氣發作于印刷、上膠涼干蒸騰進程,液態漆油在氣壓效果下構成蒸騰三苯等有機損害物,濃度較高,有機廢氣經集氣罩收集,通過風機引力進入UV光解催化廢氣組合設備,有機氣體進入UV光解催化高能UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應,使惡臭氣體物質其降解化成低分子化合物、水和二氧化碳,然后進入活性炭吸附器進行吸附處理,終究通過排風管外排風管高空排放。該法凈化功率可達90%以上,大大改善了大氣環境。 次數用完API KEY 超過次數限制
