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發(fā)布時間:2021-07-23 21:17  





如何提高流量控制器的準確度?
提高氣體質量流量控制器實用準確度的措施為:
1.針對氣體質量流量控制器的實際工藝參數,對該流量計進行“個性化標準”,從而實現(xiàn)在實際使用流量點的一定范圍內,該氣體質量流量控制器的實際測量誤差(與標準值的差)趨于零。
2.把好氣體質量流量控制器的安裝環(huán)節(jié),減少或消除機械應力、機械扭力和機械振動等對該流量計使用的影響。
3.考慮工藝壓力、溫度等對氣體質量流量控制器測量準確度的影響。
4.把好氣體質量流量控制器的投用關。
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流量控制器
注意選擇正確的工作壓力指標
不同的產品工作壓力指標可能不同,注意選擇適合自己的產品。
質量流量控制器(MFC)除工作壓力之外,還有另一項工作壓力指標:工作壓差,即MFC進氣端和出氣端之間的壓差,選型時要注意,使用時也要注意。
注意選擇合適的精度指標
準確度﹑線性﹑重復精度是比較重要的幾項指標,其中重復精度在很多應用場合尤為重要。指標不一定追求高,應考慮自己的實際需要。
如果對廠家給出的指標不放心,有條件的用戶也可以自己標定一下。標定的方法參見下面的有關內容。
怎樣選擇流量顯示單位?
我們的流量顯示儀一般提供三種流量顯示單位,即百分比﹑SCCM﹑SLM。出廠前根據用戶的要求設定。按百分比顯示的方式,即是將 MFM / MFC 的流量測量值按其占滿量程的百分比來顯示,例如,規(guī)格為50SCCM的MFM/MFC,當顯示值為80%時,實際的流量為40SCCM。有很寬的流量范圍,我們的產品流量范圍可達0~5sccm,流量范圍可達0~200slm。對任何一種規(guī)格的MFM/MFC,滿量程值都顯示為100%。這種方式通用性好,可配不同量程的MFM/MFC,但不直觀,有的用戶不習慣。
按 SCCM或 SLM顯示,出廠時對流量顯示的范圍與相應的MFM/MFC的量程進行匹配,使用時顯示值即是流量值,很直觀,符合習慣,為多數用戶所采用。 匹配好后,原則上也能接其它量程的MFM/MFC使用,只是顯示值需要修正。