離子束刻蝕機生產廠家品牌企業

離子束刻蝕機的原理

創世威納——專業離子束刻蝕機供應商，我們為您帶來以下信息。

利用輝光放電原理將ya氣分解為ya離子，ya離子經過陽極電場的加速對樣品表面進行物理轟擊，以達到刻蝕的作用。把Ar氣充入離子源放電室并使其電離形成等離子體，然后由柵極將離子呈束狀引出并加速，具有一定能量的離子束進入工作室，射向固體表面轟擊固體表面原子，使材料原子發生濺射，達到刻蝕目的，屬純物理刻蝕。

離子束刻蝕速率

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刻蝕速率是指單位時間內離子從材料表面刻蝕去除的材料厚度，單位通常為A/minnm/min.刻蝕速率與諸多因素有關，包括離子能量、束流密度、離子入射方向、材料溫度及成分、氣體與材料化學反應狀態及速率、刻蝕生成物、物理與化學功能強度配比、材料種類、電子中和程度等。

離子束刻蝕常見的效應

刻蝕的理想結果是將掩模(mask)的圖形準確地轉移到基片_上，尺寸沒有變化。由于物理濺射的存在，掩模本身的不陡直和濺射產額隨離子束入射角變化等原因，產生了刻面( Faceting)、槽底開溝(Trenching or Ditching) 和再沉積等現象，這些效應的存在降低了圖形轉移精度。

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離子束刻蝕機

表面拋光

離子束能完成機械加工中的后一道工序一-精拋光，以消除機械加工所產生的刻痕和表面應力。加工時只要嚴格選擇濺射參數(入射離子能量、離子質量、離子入射角、樣品表面溫度等)，光學零件就可以獲得較佳的表面質量，且散射光較小。離子束拋光激光棒和光學元件的表面，表面可以達到較高的均勻和一致性，而且元件本身在工藝過程中也不會被污染。