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發(fā)布時(shí)間:2020-11-04 13:22  
無塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵室。按照國(guó)際慣例,無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。防靜電垂簾:四周圍用防靜電垂簾(或鋼化玻璃),防靜電效果好、透明度高、網(wǎng)格清晰、柔韌度好、不變形、不易老化。
無塵室內(nèi)防止微粒子污染的基本原則:
不發(fā)生
在控制大污染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時(shí),也應(yīng)控制第二大污染源—制造機(jī)臺(tái)的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí),所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會(huì)造成發(fā)塵,而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì)有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到小限度應(yīng)采取以下對(duì)策:
減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài);
采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì);
采用發(fā)塵小的潤(rùn)滑油;
機(jī)臺(tái)應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。
在電子元件制品的制造過程中,微粒子污染對(duì)成品率有重大影響,故應(yīng)在過程中嚴(yán)格控制微粒子的數(shù)量,遵守“不攜入、不發(fā)生、不儲(chǔ)備、除去”四項(xiàng)基本原則以防止微粒子污染。
無塵室內(nèi)防止微粒子污染基本原則:
排除/除去
在無法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺(tái)中,為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子,因此直接做對(duì)外排氣的動(dòng)作,即所謂的局部排氣。針對(duì)排氣的對(duì)策如下:由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的,但會(huì)伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對(duì)策。潔凈室用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件,容易洗滌,底則采用塑膠底,布質(zhì)部分則采用與潔凈衣相同材質(zhì)即可,鞋子穿著時(shí)潔凈衣腳跟部分應(yīng)完全塞入緊密包著。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí),不僅僅是向無塵室外排氣,負(fù)離子檢測(cè)儀而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對(duì)策。
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