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發布時間:2020-10-30 08:51  





光刻膠簡介
賽米萊德——專業光刻膠供應商,我們為您帶來以下信息。
光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料之一,特別是近年來大規模和超大規模集成電路的發展,更是大大促進了光刻膠的研究開發和應用。印刷工業是光刻膠應用的另一重要領域。1954 年由明斯克等人首先研究成功的就是用于印刷工業的,以后才用于電子工業。 [1] 光刻膠是一種有機化合物,它被紫外光曝光后,在顯影溶液中的溶解度會發生變化。硅片制造中所用的光刻膠以液態涂在硅片表面,而后被干燥成膠膜。
光刻膠市場情況
目前全球光刻膠市場基本被日本和美國企業所壟斷。光刻膠屬于高技術壁壘材料,生產工藝復雜,純度要求高,需要長期的技術積累。日本的JSR、東京應化、信越化學及富士電子四家企業占據了全球70%以上的市場份額,處于市場壟斷地位。
光刻膠市場需求逐年增加,2018年全球半導體光刻膠銷售額12.97億美元。隨著下游應用功率半導體、傳感器、存儲器等需求擴大,未來光刻膠市場將持續擴大。
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如何選擇光刻膠
光刻膠必須滿足幾個硬性指標要求:高靈敏度,高對比度,好的蝕刻阻抗性,高分辨力,易于處理,高純度,長壽命周期,低溶解度,低成本和比較高的玻璃化轉換溫度(Tg)。主要的兩個性能是靈敏度和分辨力。大多數光刻膠是無定向的聚合體。當溫度高于玻璃化轉換溫度,聚合體中相當多的鏈條片以分子運動形式出現,因此呈粘性流動。當溫度低于玻璃化轉換溫度,鏈條片段的分子運動停止,聚合體表現為玻璃而不是橡膠。當Tg低于室溫,膠視為橡膠。當Tg高于室溫,膠被視為玻璃。由于溫度高于Tg時,聚合體流動容易,于是加熱膠至它的玻璃轉化溫度一段時間進行退火處理,可達到更穩定的能量狀態。在橡膠狀態,溶劑可以容易從聚合體中去除,如軟烘培膠工藝。但此時膠的工作環境需要格外關注,當軟化膠溫度大于Tg時,它容易除去溶劑,但也容易混入各種雜質。一般來說,結晶的聚合體不會用來作為膠,因為結晶片的構成阻止均一的各向同性的薄膜的形成。
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光刻膠的性能
賽米萊德專業生產、銷售光刻膠,以下信息由賽米萊德為您提供。
光刻膠產品種類多、專用性強,是典型的技術密集型行業。不同用途的光刻膠曝光光源、反應機理、制造工藝、成膜特性、加工圖形線路的精度等性能要求不同,導致對于材料的感光性能、溶解性、耐蝕刻性、耐熱性等要求不同。因此每一類光刻膠使用的原料在化學結構、性能上都比較特殊,要求使用不同品質等級的光刻膠專用化學品。