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無塵車間接地系統的分哪幾類？

電子設備接地

還是采用短而粗的導線與地相連, 一般采用 6 mm2  的銅線, 與設置在設備附近的專門的接地母排連接, 然后再與總接地干線連接。接地電阻要求不超過10 m。對于個別設備 , 如產品說明書對接地電阻有特別要求的, 則根據要求接地。

防雷接地

防雷接地指在雷雨季節為防止雷電過電壓的保護接地。對于一般建筑而言, 在采取了防雷措施后。

可以將直擊雷與雷電波侵入的雷害的概率降低很多。對于一般電氣設備, 允許的雷電脈沖較高, 因此采取避雷針 、避雷網防直擊雷等措施是極其有效的。微電子設備非常靈敏, 耐壓水平很低, 一般只有 10 V左右, 對雷擊電磁脈沖極為敏感, 易受到電磁干擾和損壞。雷擊電磁脈沖因電磁感應產生, 并且可以通過電源線 、天線 、信號線的耦合被引入微電子設備。

過濾器DOP（PAO）檢漏法在潔凈室中的應用

可將氣溶膠直接從系統風機的負壓一側引入，如要從風管中引入，則應在距HEPA至少10倍風管直徑處引入，并盡量減少拐彎（美國環境科學和技術學會）。一般情況下，保持上游氣溶膠達到要求濃度，且濃度波動在一定范圍即可。對于層流罩、超凈臺上的HEPA，氣溶膠直接從系統風機的負壓一側引入。

氣溶膠光度計初始化、設定 100%、0%參比標準值。