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這種加工方式在精度要求上非常高，一般是以納米甚至是原子為單位來進行計算的，它比較適合那種切削加工無法滿足生產需求的加工方式，比方說運用在化學能、電能等等方面，想要讓這些能量結合在一起，從而達到去除原子附著或者是晶格變形，那么，這時候就必須要借助于特種加工方法才行，所以，在精密機械加工的方法當中，這種加工方法運用得也比較多，不過，因為要求非常高，必須要選擇那種超精密的加工設備才能夠完成加工工作。

為了保證在精密機械加工的時候相關的加工精度，在加工時候就要把粗加工和精加工分開進行，因為在進行粗加工的時候切削量比較大，而工件受到的切削力和夾緊力也更大，這樣會導致散發的熱量更多，自然就會導致表面有硬化情況，而且，內部還可能會有內應力，如果連續進行，那么久可能會讓精度喪失，所以，建議在進行粗加工以后和精細加工之前先做一件事情，那就是低溫退火或者是按照合適的方法來把內應力消掉。

非標零件加工加工順序要確定好，先后次序要做好，一般是先做主要的，然后做次要的。

一個零件通常由多個表面組成，各表面的加工一般都需要分階段進行。在安排精密機械零部件加工加工順序時，應先集中安排各表面的粗加工，中間根據需要依次安排半精加工，安排精加工和光整加工。對于精度要求較高的工件，為了減小因粗加工引起的變形對精加工的影響，通常粗、精加工不應連續進行，而應分階段、間隔適當時間進行。