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真空熱處理爐是近年來得到較大發展的先進熱處理設備，工件是在超低氣壓的空間里進行加熱和冷卻的。它具有質量好、節能、安全和污染少等優點。

雖然真空爐的發熱體用低壓電，但電源電壓仍為380V，操作時仍需要安全用電。

真空爐制造時，應確保不漏氣、不漏水。真空爐爐體和爐蓋等的密封是用橡膠件，因此需要用水隔層進行冷卻。

就因為這樣，講的原理用于感應加熱進程。這里，固態RF頻率電源被施加到電感器線圈，而且待加熱的資料被放置在線圈內。當交流電流通過線圈時，依據法拉第規律，在其周圍發生交變磁場。當放置在電感器內部的資料處于該交變磁場的范圍內時，在資料內發生渦電流。

現在調查焦耳加熱的原理。據此，當電流通過資料時，在資料中發生熱量。因而，當因為感應磁場而在資料中發生電流時，活動的電流從資料內部發生熱量。這解說了非觸摸式感應加熱的進程。

圓錐齒輪的前期失效形式首要包含齒面剝落和齒根折斷，而導致齒輪出現這兩種失效的首要原因是齒輪滲碳過程中使得齒輪發生了變形，這不但使得齒輪運動精度與裝配精度下降，并且使得齒輪的全體功能和使用壽命下降，是齒輪前期失效的一個重要原因。

導致齒輪變形的因素較多，其間尤其以熱處理過程中滲碳層剩余奧氏體含量過多，在齒輪后續加工和使用過程中剩余奧氏體進一步發生轉變成馬氏體而發生的變形，這是導致圓錐齒輪前期失效問題的根本問題之一。

工件變形小。一般來說，被處理的工件在爐內靠熱輻射加熱，內外溫差較小，熱應力小，因此決定了真空熱處理工藝處理的零件變形小，一起在真空下加熱和在真空下淬火，主動完成，避免了熱態下工件在空氣中的搬運，削減了人為加工變形，提高了產品合格率。

可削減工件含金元素揮發性。真空熱處理能在可控氣氛下加熱和真空淬火，從而削減了工件含金元素揮發性，保證了工件的熱處理質量。