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發布時間:2020-07-20 16:35  
廣州旗興企業--無塵車間廠家,恒溫恒濕車間工程,環境模擬實驗室工程,恒溫恒濕實驗室
無塵潔凈室中各種凈化設備需求做到哪幾點?
在無塵潔凈室中,不僅要對施工技術和施工人員做一定的規范,也要對無塵潔凈室中各種凈化設備提出一些條件,主要需求做到一下幾點:
??1、對無塵潔凈室中各種凈化單元布局(安置和尺度)應加以改善,使之向有利于減小體積,進步分配均勻性,而又不添加阻力的方向開展。
??2、在無塵潔凈室中,不影響噪聲極限的前提下,進步風機壓頭有利于延伸過濾器的使用壽命,此外風機應可以變速運轉。
??3、無隔板過濾器和新式空氣分配設備可構成即節能又靈敏的無塵車間體系。
??4、技術設備的規劃和排熱辦法應親近聯系,排熱以開展水冷為主。
1、無塵室凈化車間施工的規劃方案應具有較好的適應性(靈敏性),它是實驗性車間有必要思考的疑問(如單向流/非單向流的變換、分區變換等)。
??2、廠址挑選、修建規劃與技術設置的合理性,可以從根本上下降初出資及運轉費用。
??3、正確斷定出產設備的熱負荷對選定空調制冷設備有直接關系。
??4、無塵室凈化車間室內換氣次數和末級過濾器功率之間的組合(到達一樣等級)需進行經濟對比。
??5、新風會集處置有利于使用地下水預冷、除塵和加濕。
??6、空諧和凈化功用的別離有利于發揚各自的技術經濟合理性。
??7、技術進程中和空調體系的熱收回是可以直接獲益的辦法,因而應充分利用這有些熱量,使之到達物盡其用的意圖。
廣州旗興企業--GMP車間凈化工程,潔凈實驗室工程,恒溫恒濕實驗室工程,環境模擬實驗室工程
怎樣對無塵潔凈室中的溫濕度進行控制?
??潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。3,減少潔凈室換氣次數在保證潔凈效果的前提下,減少換氣次數、送風量是節能的重要手段之一。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產較佳濕度范圍為35—45%。
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什么是潔凈室的超凈工作臺?
超凈工作臺,也稱潔凈工作臺,在潔凈車間的檢驗室或潔凈實驗室中都有廣泛的應用。潔凈工作臺是在操作臺面以上的空間局部形成無塵無菌環境的裝置,是凈化空調系統中游離于系統之外的一種凈化設備,。也就是說它的送風、回風不納入凈化空調系統,只是在潔凈室內自助循環的凈化設備。超凈工作臺,也有在非潔凈室內使用的,但這樣他的初效過濾器和過濾器壽命將縮短。廣州旗興企業--無塵車間凈化工程,GMP車間施工,環境模擬實驗室工程,恒溫恒濕實驗室工程無塵潔凈室中的三塵是指哪三點。
潔凈工作臺的結構與類型緊密相關,把組成潔凈工作臺的各主要部件進行不同的排列,就得到不同形式的潔凈工作臺,服務于不同的用途。不管是那種形式的潔凈工作臺,都是由風機、過濾器、初效過濾器、殼體、臺面、紫外線燈(進行起始或終了后的滅菌)、照明燈、調壓器、壓差顯示表等部件組成。1、潔凈棚又名潔凈工作棚(無塵棚、凈化棚、操作工作臺等),是指在潔凈室內用防靜電網格簾或有機玻璃圍一個小空間,上方采用HEPA及FFU送風單元組成一相對潔凈室較高凈化級別的空間,潔凈棚可配風淋室、傳遞窗等凈化設備。
潔凈工作臺一般分為水平平行流潔凈工作臺和垂直平行流潔凈工作臺,所采用的過濾器分為有隔板與無隔板兩種,有隔板厚度采用150MM厚度,無隔板采用100MM厚度,應用不同的場合需求。目前,潔凈工作臺大多數能提供ISO5級(100級)的潔凈操作環境,對于要求在某一級別下的局部百級的操作環境,如果操作對象不大,也就是說所需操作空間不大的話,那么就可以采用在某一級別的潔凈室內配置潔凈工作臺的方案,例如1000級以下的局部百級環境,那么就可以建造1000級潔凈室,在其內部配置100級潔凈工作臺即可,根據操作工藝要求,可選配水平單向流或垂直單向流的工作臺。例如,在微電子行業的芯片生產過程中,對微粒的控制達到分子級,否則生產就無法進行,或者生產出次品。