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Parylene裂解儀

Parylene用獨特的真空氣相沉積工藝（CVD技術）制備，由活性小分子在基材表面'生長'出完全敷形的聚合物薄膜涂層，它能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊，號稱'無孔不入'可深入裂縫里和內表面。派瑞林涂層材料與派瑞林鍍膜加工優勢就是能夠保護橡膠/硅樹脂產品免受油、污垢和污染物的影響，提高潤滑性。這種真空狀態下室溫沉積制備的0.1-100微米薄膜涂層，厚度均勻、致密無、透明無應力、不含助劑、不損傷工件、有優異的電絕緣性和防護性，甚至被業內稱為當今世界的防潮、防霉（零級）、防腐、防鹽霧的特殊防護涂層。Parylene涂層在具備以上優異防護性能基礎上,尤其還具有良好的生物兼容性,生物穩定性，并有優異的自潤滑性,涂層均勻可控性,以及好的物理機械性能。

1.一腔體，采用SUS304不銹鋼艙體有效鍍膜空間 ≧ 直徑300mm x 高度350mm，腔體設有觀景窗, 采用掀蓋式腔蓋并設有把手以便腔蓋開閉。

2. 旋轉平臺，可承載重量: 20公斤,旋轉速度: 0.5至10 rpm。

3. 油式泵浦，抽氣速度 ≧ 200L/min ; 壓力 ≦ 5*10-3Torr。

4. 控制系統，采用具PID功能之溫控模塊及高的精度溫度傳感器，系統可進行自動或半自動(溫控/真空)操作,并可儲存與選擇Recipe 。

5. 附屬冷凝機，溫度 ≦ -90℃

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