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發布時間:2020-07-22 09:43  






無油真空泵近年來解決了不少科學研究和新材料、半導體行業的技術手段存在的基礎、共性問題,國內很多企業也啟動了基礎、應用研究及小規模的試制無油真空泵的探索,在不同研發階段上顯示了產業結構調整的規劃,如在基礎技術、激勵機制、技術推廣、市場開拓規劃的調整等,這些舉措都為鋪展市場做好了基礎。如果以葉輪的下部0°為起點,那么葉輪在旋轉前180°時小腔的容積由小變大,且與端面上的吸氣口相通,此時氣體被吸入,當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕。
無油渦旋真空泵不僅解決了污染、振動等基礎性、共性問題,還使系統制造與運行成本降低。同時,與排氣口相通的排氣腔容積由大變小,吸入腔內的氣體被壓縮,待氣體壓力高于大氣壓力時,推開排氣閥排出大氣。在生物制品與半導體行業中,如果應用普通旋片油泵,會產生有油蒸汽污染與工藝系統返油問題,而無油渦旋真空泵就避免了這些問題的出現。為防止普通旋片油真空泵對真空系統的返油污染,需要在抽氣系統中加冷阱捕獲油分子,還要在系統運行中,定期清洗除油,增加了成本運行。因此,無油渦旋真空泵確實具有未來深廣的發展前景,是著重商業化的對象。
國內以半導體、電子工業為代表的制造工藝和科學研究與分析測試行業迫切需要無油污染的真空環境,無油真空泵的研發不僅推動了應用產業的整體素質,還為我國其他清潔真空獲得設備提供了有效地借鑒,帶動了整個真空獲得行業的創新能力和技術標準。

