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d.與泵腔的接觸點到排氣口之間的有害空間有關，有害空間中的氣體不能被旋片泵排出泵腔，而會被帶回吸氣側，導限壓力的升高，泵中的循環泵油填充到有害空間，可消除有害空間對極限壓力的影響。

e.零件的加工精度，運動件之間的間隙，軸端密封等。

2.抽氣速率：單位時間內排出氣體的體積，單位為L.S-1。

a.名義抽速：旋片泵出廠的標牌抽速。b.幾何抽速：旋片泵在額定轉速下，單位時間排出的幾何容積，與吸氣終了時的吸氣腔容積，轉子的轉速，以及旋轉一周的吸排氣次數有關。c.實際抽速：實際測得的抽速，是入口壓力的函數。

3.電機功率：與壓縮氣體、克服摩擦、過載有關。

由于吸氣后v0空間是全封閉狀態，所以，在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。但當轉子頂部轉過排氣口邊緣，v0空間與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然。當轉子繼續轉動時，氣體排出泵外。羅茨泵在泵腔內，有二個“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間，轉子與泵殼內壁之間，保持有一定的間隙，可以實現高轉速運行。

工作原理擴散泵中的油在加熱到沸騰溫度（約為200度）后產生大量的油蒸氣，油蒸氣經導流管從各級噴嘴定向高速噴出。由于擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓強高于蒸氣流中該氣體的分壓強，被抽氣體的分子便不斷擴散到高速定向蒸氣流中，隨著蒸氣流帶走。氣體分子隨蒸氣流碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進行多級壓縮，后由前級泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環工作達到抽氣目的。