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              檢漏設(shè)備廠家價格合理 銳誠真空公司

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              發(fā)布時間:2020-11-13 13:58  
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              視頻作者:深圳銳誠真空技術(shù)有限公司







              用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原

              選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低;檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高;它不會對人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患;價格低。

              質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體,主要原因如下:

              1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少(在空氣中約含5.2ppm),在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小。正因為本底小,由某些原因引起本底的波動,亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應(yīng)出來,靈敏度高。

              2、氦的質(zhì)量小(相對分子質(zhì)量為4),易于穿過漏孔。這樣,氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大,容易發(fā)現(xiàn),靈敏度高。

              3、氦是惰性氣體,不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng),不會污染被檢件,使用安全。

              4、在氦兩側(cè)的是氫(質(zhì)荷比為2)和雙電荷原子碳(質(zhì)荷比為6),質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣,它們在分析器中的偏轉(zhuǎn)半徑相差也大,容易分開,定標找氦峰時,不易受其他離子的干擾,因此就降低了對分析器制造精度的要求,易于加工。同時,分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過,提高了儀器靈敏度。

              5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續(xù)進行檢漏,提高了儀器的檢漏效率。

              6.氫氣有些性能(如質(zhì)量小、易通過漏孔)比氦還好,然而由于氫一方面有易1爆危險,另一方面在油擴散泵中,由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫,使氫本底極高且波動大,以致靈敏度大大降低,所以很少采用。

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              氦質(zhì)譜檢漏原理

              深圳銳誠真空專業(yè)生產(chǎn)、銷售氦檢漏設(shè)備,我們?yōu)槟治鲈摦a(chǎn)品的以下信息。

              氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是以無色、無味的惰性氣體氦氣為示蹤介質(zhì)、以磁質(zhì)譜分析儀為檢測儀器,用于檢漏的一種檢測技術(shù),氦檢漏設(shè)備,它的檢漏靈敏度可達10-14~10-15Pam3/s,可以準確確定漏孔位置和漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)組件和電子學(xué)控制元件三大部分組成。質(zhì)譜室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和機械泵之間,氦檢漏設(shè)備價格,利用分子泵對不同氣體具有不同壓縮比的特點,氦氣逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室。檢漏儀在質(zhì)譜室中將氣體電離,這些離子在加速電場的作用下進入磁場,在洛倫茲力作用下發(fā)生偏轉(zhuǎn),由于不同荷質(zhì)比的離子具有不同的電磁學(xué)特性,偏轉(zhuǎn)半徑各不相同,在擋板的作用下,氦檢漏設(shè)備保養(yǎng),氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到,單位時間到達收集板的氦離子對應(yīng)于一個電流信號,這個電流信號正比于進入到達收集板氦離子的數(shù)量,電流信號經(jīng)過放大后顯示在質(zhì)譜儀的顯示面板上,其大小反映了泄漏點的漏率,通過泄漏率大小來確定該位置泄漏程度的大小。

              氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣,是因為氦氣具有以下優(yōu)良特性:

              ①氦氣在空氣中的含量少,體積含量為5.24×10-6,如果氦氣在環(huán)境中的含量超過標準,可以比較容易地探測到極微量的氦氣;

              ②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴散、易穿越漏孔、易于檢測也易于清除;

              ③氦離子荷質(zhì)比小,易于進行質(zhì)譜分析;

              ④氦氣是惰性氣體,化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,不會腐蝕和損傷任何設(shè)備;

              ⑤氦氣無毒,不凝結(jié),極難容于水。



              氦質(zhì)譜檢漏儀

              1.智能化:以往的氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助,而現(xiàn)在的觸屏式,自動檢測。

              2.便捷化:這幾年市場上各種小型便捷的檢漏儀能夠為行業(yè)提供小巧而靈敏性高的設(shè)備。

              3.自動化程度高:自動校準氦峰,自動調(diào)節(jié)0點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜擇功能,一個按鈕即可完成全檢漏過程。

              4.全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。

              5.檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。

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              氦質(zhì)譜檢漏的優(yōu)越性

              氦質(zhì)譜檢漏法是根據(jù)質(zhì)譜分析的原理, 以氦作示蹤氣體, 對各種需密封的容器的漏隙進行快速定位和定量檢測的理想方法。

              由于氦是惰性氣體, 對大氣無污染, 使用比較安全; 而且氦的原子量小、粘度小, 容易滲透過任何可能存在的漏隙, 因此檢測靈敏度高、速度快、適用范圍廣; 另外氦在大氣中含量少(僅萬分之五) , 離子質(zhì)量與其它氣體離子質(zhì)量相差很大, 不易受干擾, 錯判幾率小。所以, 與其它諸多檢漏方法比, 氦質(zhì)譜檢漏具有的優(yōu)越性。

              隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展, 檢漏應(yīng)用技術(shù)在不斷地更新, 氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)也在不斷擴展到更廣闊的領(lǐng)域當(dāng)中。為提高產(chǎn)品合格率和生產(chǎn)效率, 不應(yīng)一味沿用的古老且落后的手段處理泄漏問題。



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